[发明专利]超声波传感器的制备方法在审
| 申请号： | 201710069873.1 | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108400234A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 侯美珍;孙文思;郭宏伟 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/23 | 分类号： | H01L41/23;H01L41/31;H01L41/333;H01L41/43 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 330013 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波传感器 压电层 制备 陶瓷基体 压电复合材料 三维模型 压电陶瓷 浆料 半成品 快速成型工艺 材料打印 高温烧结 机械加工 机械切割 形状限制 聚合物 打磨 模具 填充 切割 打印 陶瓷 制作 | ||
1.一种超声波传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
建立压电层的三维模型；
制备用于制作所述压电层的压电陶瓷浆料；
采用3D打印机按照所述三维模型以所述压电陶瓷浆料为材料打印形成压电层实体；
对所述压电层实体进行高温烧结得到陶瓷基体；
向所述陶瓷基体的间隙及所述陶瓷基体的外侧填充聚合物以形成半成品压电复合材料；
打磨所述半成品压电复合材料以形成所述超声波传感器。
2.如权利要求1所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述压电层实体包括基底及设置在所述基体上的多个压电柱，所述多个压电柱等间距分布。
3.如权利要求1所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述压电陶瓷浆料为包括预混液、光固化剂、分散剂及压电陶瓷粉组成的混合物。
4.如权利要求3所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述预混液为包括硅溶胶、丙三醇、丙烯酰胺及亚甲基双丙烯酰胺组成的混合物。
5.如权利要求3所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述光固化剂的材料包括2-羟基-甲基苯基丙烷-1-酮、环氧丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯及聚氨酯丙烯酸酯等中的任意一种。
6.如权利要求3所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述压电陶瓷粉的材料包括PZT-4、PZT-5、PZT-8等PZT体系中的任意一种。
7.如权利要求1所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述3D打印机包括紫外线光源，所述紫外线光源用于照射所述压电陶瓷浆料。
8.如权利要求1所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述高温烧结的温度范围在1200℃-1350℃，高温烧结时间为4个小时。
9.如权利要求1所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，所述填充的聚合物的材料包括环氧树脂、聚偏氟乙烯、聚四氟乙烯等中的任意一种。
10.如权利要求1所述的超声波传感器的制备方法，其特征在于，打磨所述半成品压电复合材料以形成所述超声波传感器的步骤，包括：
磨平所述基底并打磨所述半成品压电复合材料的表面。
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