[发明专利]抗硫化的晶片电阻及其制法有效

专利信息
申请号: 201710069081.4 申请日: 2017-02-08
公开(公告)号: CN108399992B 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 王高源;方惠梅 申请(专利权)人: 东莞华科电子有限公司
主分类号: H01C7/00 分类号: H01C7/00;H01C1/032;H01C1/148;H01C17/00
代理公司: 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 梁挥;鲍俊萍
地址: 523799 广东省东莞市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 抗硫化 第一保护层 电阻层 晶片电阻 第二保护层 电极层 阶梯状界面 电阻 基板 制法 局部覆盖 连接界面 两端电极 两端部 电极 外露 顶面 覆盖
【说明书】:

一种抗硫化的晶片电阻及其制法,晶片电阻包含基板、两上电极层、电阻层、第一保护层、两抗硫化构件、第二保护层与两端电极构件;两上电极与电阻层设置于基板上,电阻层的两端部分别迭接于两上电极层的电阻迭接区域,第一保护层局部覆盖该电阻层,各抗硫化构件设置于对应的上电极层的非电阻迭接区域、电阻层外露于第一保护层的端部以及第一保护层的顶面,第二保护层覆盖两抗硫化构件与第一保护层的表面,各抗硫化构件与第二保护层的连接界面形成一阶梯状界面,使硫气体难以沿着阶梯状界面进入晶片电阻的内部,达到抗硫化的功效。

技术领域

本发明是关于一种晶片电组及其制法,特别是指抗硫化的晶片电阻及其制法。

背景技术

抗硫化特性是评估晶片电阻质量的指针之一,以下说明数种晶片电阻的现有结构。

图6所示为现有晶片电阻的结构,包含一基板80、一电极81、一电阻层82、一保护层83、一第一端电极层84与一第二端电极层85。该电极81为银电极,其设置于该基板80的顶面外侧,该电阻层82设置于该基板80的顶面,并覆盖局部的该电阻层82,该保护层82覆盖该电阻层82与局部的该电极81,该第一端电极层84从该电极81未被该保护层83覆盖的顶面向下延伸,而形成于该电极81的端面及该基板80的端面,该第二端电极层85形成于该第一端电极层84的表面,其中,该第一端电极层84与该第二端电极层85的上末端连接该保护层83的侧面。然而,硫气体会从该第一端电极层84、该第二端电极层85的上末端与该保护层83的交接界面渗入到电极81,导致电极81(银电极)容易被硫化。

图7所示为另一现有晶片电阻的结构,其大致与图6相同,和图6相比,图7所示的第一端电极层84的上末端841与该第二端电极层85的上末端851系进一步向上延伸至该保护层83的顶面,以增加硫气体渗入的路径长度,避免或延缓电极81被硫化。图8所示为再一现有晶片电阻的结构,其大致与图6相同,和图6相比,图8进一步包含一抗硫化层86,该抗硫化层86设置在该电极81的表面,该保护层83的边界位于该抗硫化层86的表面,通过该抗硫化层86,可避免电极81直接与从交接界面渗入的硫气体接触。

除了前述图6至图8所示的晶片电阻的现有结构之外,也有相关专利案,例如中国台湾专利公告第I300942号案及公告第I395232号案,可见如何强化晶片电阻的抗硫化特性是业界的一重要课题。是以,申请人经由审慎评估及多方考虑,并以从事此行业所累积的专业经验,经由不断的样品试作及改良,提出本发明的抗硫化的晶片电阻及其制法。

发明内容

有鉴于现有晶片电阻的抗硫化特性不彰,本发明的主要目的是提供一种抗硫化的晶片电阻及其制法,可有效避免晶片电阻被硫化。

本发明抗硫化的晶片电阻包含:

一基板,其顶面包含两外侧区域与位于该两外侧区域之间的一中间区域;

两上电极层,分别设置于该基板的该两外侧区域,各该上电极层的顶面包含一电阻迭接区域与一非电阻迭接区域;

一电阻层,设置于该基板的该中间区域,且该电阻层的两端部分别迭接于该两上电极层的电阻迭接区域;

一第一保护层,局部覆盖该电阻层,使该电阻层的该两端部分别外露于该第一保护层;

两抗硫化构件,分别对应于该基板的该两外侧区域,各该抗硫化构件设置于对应的该上电极层的非电阻迭接区域、该电阻层外露于该第一保护层的端部以及该第一保护层的顶面;

一第二保护层,覆盖该两抗硫化构件与该第一保护层的表面,该第二保护层的边界位于该两上电极层的非电阻迭接区域上方;以及

两端电极构件,分别对应于该基板的该两外侧区域,且分别电性连接该两上电阻层。

其中,各该抗硫化构件为一复合层构件,包含一抗硫化层与形成在该抗硫化层顶部的一氧化层,且该氧化层系金属氧化层。

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