[发明专利]一种碳化硅方镜素坯凹槽加工方法

权利要求书

1.一种碳化硅方镜素坯凹槽加工方法，其特征在于，该碳化硅方镜素坯凹槽加工方法包括以下步骤：

步骤1、将石蜡填充到碳化硅方镜素坯的减重腔的中空部分；

步骤2、使用数控加工中心进行凹槽的加工；

步骤3、对加工后的碳化硅方镜素坯进行烘烤，直至石蜡全部脱除；

所述步骤3中，烘烤的温度为100-120℃，石蜡脱除过程中温度需缓慢升高至烘烤温度，且升温速率应保持3-5℃/min；

所述步骤1中，填充用石蜡由复合石蜡与松香按质量比10:1-5:1配置而成，填充体积大于所述减重腔体积的一半；

所述复合石蜡的原料为每1kg精炼石蜡加入：棕榈酸10g-20g、硬脂酸60g-80g、花生酸10g-20g、聚丙烯2g-5g、聚乙烯8g-15g、蜂蜡30g-60g；

所述精炼石蜡为58#精炼石蜡、60#精炼石蜡按任意质量比混合；

所述步骤2中，所述数控加工中心使用Φ10-Φ12mm的聚晶金刚石铣刀，且采用螺旋方式进刀；初始的进给量为1200mm/min，进刀量为0.1mm，进给量及进刀量随着加工的进行逐渐减小，且均与凹槽底部的厚度成正比，最终进给量减小至600mm/min，进刀量减小至0.05mm。

2.根据权利要求1所述的碳化硅方镜素坯凹槽加工方法，其特征在于，所述复合石蜡的原料为每1kg精炼石蜡加入：棕榈酸16.6g、硬脂酸62.5g、花生酸14.9g、聚丙烯3.3g、聚乙烯9.2g、蜂蜡49.5g；

所述精炼石蜡为58#精炼石蜡、60#精炼石蜡按质量比1：3混合。

3.根据权利要求2所述的碳化硅方镜素坯凹槽加工方法，其特征在于，所述步骤3中，回收脱除的石蜡，并重复利用。

4.使用权利要求1至3任一所述的碳化硅方镜素坯凹槽加工方法加工成形的碳化硅方镜，其特征在于，该碳化硅方镜底部具有复杂的减重结构，正面设有凹槽，凹槽直径大于Φ378mm，深度大于5mm，底部厚度小于等于6mm，底部距离减重腔上表面中空距离大于60mm，要求加工精度±0.2mm。