[发明专利]光学测量装置

说明书

本发明的一个方面的光学测量装置(1)包括：光源(10)，其产生具有多个波长成分的照射光；传感器头部(30)，其使从光源(10)发出的照射光产生轴向色差，并接收从至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象(2)反射的反射光；光接收部(40)，其将由传感器头部(30)接收的反射光分离成各波长成分，并接收各波长成分的光；导光部(20)，其将光源(10)、光接收部(40)以及传感器头部(30)光学性地连接；以及处理部(50)，其基于光接收部(40)中的各波长成分的受光量，计算从光学系统到测量对象的距离。处理部(50)将光接收波形中的多个波长成分的各受光量与受光量的基准值比较，当多个波长成分中的每个波长成分的所述受光量相对于基准值的变化量均为预设的阈值以上时，检测出所述光接收波形的异常。

技术领域

本发明关于以白色共焦点方式可对测量对象的表面形状等进行测量的光学测量装置。

背景技术

作为检测测量对象的表面形状等的装置，已知白色共焦点方式的光学测量装置。这种光学测量装置包括：产生具有多个波长成分的照射光的光源；使从光源发出的照射光产生轴向色差的光学系统；将由光学系统接收的反射光分离成各波长成分，并接收各波长成分的光的光接收部；将光源、光接收部和所述光学系统光学连接的导光部。例如，特开2012-208102号公报记载了一种利用共焦点光学系统以非接触的方式对测量对象的位移进行测量的共焦点测量装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-208102号公报

在白色共焦点原理的位移传感器中，由于返回光束的增加等，光接收波形发生变化，这成为了影响测量的原因。目前，无法检测出这样的光接收波形的变化，从而用户无法注意到光接收波形是不正常的。返回光束的增加带来传感器的测量精度的下降，但存在用户察觉不到该情况而继续使用传感器的可能性。

发明内容

本发明的目的是，提供一种可检测出光接收波形发生异常的白色共焦点原理的光学测量装置。

本发明的一个方面的光学测量装置，包括：光源，其产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，其使从光源发出的照射光产生轴向色差，并接收从至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象反射的反射光；光接收部，其将由光学系统接收的反射光分离成各波长成分，并接收各波长成分的光；以及处理部，其基于光接收部中的各波长成分的受光量，计算从光学系统到测量对象的距离。处理部将光接收波形中的多个波长成分的各受光量与受光量的基准值比较，当多个波长成分中的每个波长成分的受光量相对于基准值的变化量均为预设的阈值以上时，检测出光接收波形的异常。

根据上述结构，能够提供一种可检测光接收波形的异常的白色共焦点原理的光学测量装置。需要说明的是，“从光学系统到测量对象的距离”是指从光学系统到测量对象上的测量对象位置的距离，不限定于从光学系统到测量对象的最短距离。测量对象位置是指照射有从光源发出的照射光的测量对象上的位置。测量对象位置不限定于1个。

优选地，当多个波长成分中的至少一个受光量的变化量小于阈值时，处理部基于光接收波形中的峰值的波长，计算测量对象的位移。

根据上述结构，即使在所选择的多个波长中的一个与测量波长一致时，也能基于其他波长的受光量检测出异常波形。

优选地，多个的波长成分包括五个波长。

根据上述结构，例如测量对象具有由两个透明体(玻璃等)之间的间隔构成的空间结构，即使在所选择的五个波长中有四个与测量波长一致的情况下，也能基于余下的一个波长的受光量检测出异常波形。

优选地，阈值基于光源的光谱按每个波长而被确定。

根据上述结构，按每个波长设定阈值，由此能正确检测出异常波形。