[发明专利]光学测量装置

权利要求书

1.一种光学测量装置，其特征在于，

包括：

光源，其产生具有多个波长成分的照射光，

光学系统，其使从所述光源发出的照射光产生轴向色差，并接收从至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象反射的反射光，

光接收部，其将由所述光学系统接收的反射光分离成各波长成分，并接收所述各波长成分的光，以及

处理部，其基于所述光接收部中的所述各波长成分的受光量，计算从所述光学系统到所述测量对象的距离；

所述处理部将光接收波形中的多个波长成分的各受光量与所述受光量的基准值比较，当所述多个波长成分中的每个波长成分的所述受光量相对于所述基准值的变化量均为预设的阈值以上时，检测出所述光接收波形的异常。

2.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，

当所述多个波长成分中的至少一个所述受光量的所述变化量小于所述阈值时，所述处理部基于所述光接收波形中的峰值的波长，计算所述测量对象的位移。

3.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，

所述多个波长成分含有5个波长。

4.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，

所述阈值基于所述光源的光谱按每个波长而被确定。