[发明专利]一种面板缺陷位置的偏移补偿方法、装置及系统有效
申请号: | 201710018485.0 | 申请日: | 2017-01-11 |
公开(公告)号: | CN106814479B | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 施文峰 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01B11/00;G01B21/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张建纲 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 面板 缺陷 位置 偏移 补偿 方法 装置 系统 | ||
1.一种面板缺陷位置的偏移补偿方法,其特征在于,包括如下步骤:
获取总间距测量设备、自动光学检测设备、修补设备分别识别到的第一缺陷坐标、第二缺陷坐标、第三缺陷坐标;
将所述第一缺陷坐标与所述第二缺陷坐标进行对比得到第一对比结果,判断第一对比结果是否满足第一条件;第一条件为第一对比结果是否小于预设的第一阈值,第一阈值是预先设定的一个数值,第一阈值根据第一缺陷坐标与所述第二缺陷坐标的合理误差范围来确定,第一阈值根据总间距测量设备的允许误差范围和自动光学检测设备的允许误差范围确定;
将所述第一缺陷坐标与所述第三缺陷坐标进行对比得到第二对比结果,判断第二对比结果是否满足第二条件;第二条件为第二对比结果是否小于预设的第二阈值,第二阈值是预先设定的一个数值,根据第一缺陷坐标与所述第三缺陷坐标的合理误差范围来确定,第二阈值根据总间距测量设备的允许误差范围和修补设备的允许误差范围确定;
当第一对比结果满足第一条件且第二对比结果满足第二条件时,计算所述第二缺陷坐标与所述第三缺陷坐标的坐标偏差值;
根据所述坐标偏差值进行面板缺陷位置的补偿。
2.根据权利要求1所述的偏移补偿方法,其特征在于,还包括,当所述第一对比结果不满足第一条件时,则对自动光学检测设备进行故障排查。
3.根据权利要求2所述的偏移补偿方法,其特征在于,还包括,当所述第二对比结果不满足第二条件时,则对修补设备进行故障排查。
4.根据权利要求3所述的偏移补偿方法,其特征在于,根据所述坐标偏差值进行面板缺陷位置的补偿的步骤,包括:
将所述坐标偏差值写入到所述自动光学检测设备的DFS文件中。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的偏移补偿方法,其特征在于,所述总间距测量设备为TP设备。
6.一种面板缺陷位置的偏移补偿装置,其特征在于,包括:
坐标获取单元,用于获取总间距测量设备、自动光学检测设备、修补设备分别识别到的第一缺陷坐标、第二缺陷坐标、第三缺陷坐标;
第一比较单元,用于将所述第一缺陷坐标与所述第二缺陷坐标进行对比得到第一对比结果,判断第一对比结果是否满足第一条件;第一条件为第一对比结果是否小于预设的第一阈值,第一阈值是预先设定的一个数值,第一阈值根据第一缺陷坐标与所述第二缺陷坐标的合理误差范围来确定,第一阈值根据总间距测量设备的允许误差范围和自动光学检测设备的允许误差范围确定;
第二比较单元,用于将所述第一缺陷坐标与所述第三缺陷坐标进行对比得到第二对比结果,判断第二对比结果是否满足第二条件;第二条件为第二对比结果是否小于预设的第二阈值,第二阈值是预先设定的一个数值,根据第一缺陷坐标与所述第三缺陷坐标的合理误差范围来确定,第二阈值根据总间距测量设备的允许误差范围和修补设备的允许误差范围确定;
缺陷坐标计算单元,用于当第一对比结果满足第一条件且第二对比结果满足第二条件时,计算所述第二缺陷坐标与所述第三缺陷坐标的坐标偏差值;
补偿单元,用于根据所述坐标偏差值进行面板缺陷位置的补偿。
7.根据权利要求6所述的偏移补偿装置,其特征在于,还包括第一故障排查单元,用于当所述第一对比结果不满足第一条件时,则对自动光学检测设备进行故障排查。
8.根据权利要求6或7所述的偏移补偿装置,其特征在于,还包括第二故障排查单元,用于当所述第二对比结果不满足第二条件时,则对修补设备进行故障排查。
9.根据权利要求6所述的偏移补偿装置,其特征在于,所述补偿单元包括补偿子单元,用于将所述坐标偏差值写入到所述自动光学检测设备的DFS文件中。
10.一种面板缺陷位置的偏移补偿系统,其特征在于,包括
总间距测量设备,用于识别第一缺陷坐标;
自动光学检测设备,用于识别第二缺陷坐标;
修补设备,用于识别第三缺陷坐标;
权利要求6-9任一项所述的偏移补偿装置,与所述总间距测量设备、自动光学检测设备、修补设备分别连接,用于对面板缺陷位置进行补偿。
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