[发明专利]激光退火装置和激光退火方法

权利要求书

1.一种激光退火装置，用于处理基板，所述激光退火装置具备照射部，所述照射部中，由1个以上透镜构成的透镜列以第一间隔配置若干列，所述基板具有若干列第一区域列和若干列第二区域列，所述第一区域列是由1个以上照射对象区域构成的区域列并以所述第一间隔进行配置，从所述第一区域列开始，沿着与所述区域列垂直的方向向一侧离开小于所述第一间隔的第二间隔，在该处配置所述第二区域列，所述照射部在对所述基板进行扫描时，通过所述透镜对所述照射对象区域进行激光照射，所述激光退火装置的特征在于具备：

出射部，射出用于入射到所述透镜的激光；

移动机构，在使沿着所述透镜列的列方向与沿着所述区域列的方向一致的状态下，使所述照射部和所述基板沿着所述列方向相对移动；以及

控制部，对所述出射部和所述移动机构进行控制，在使所述照射部沿着所述列方向对所述基板进行扫描时，对于位于与所述透镜列相对应的位置上的各所述区域列，通过与该区域列相对应的透镜列中的透镜对该区域列中的照射对象区域进行激光照射，

所述控制部在第一次扫描中，通过若干列所述透镜列中的一列透镜列所含的透镜，对所述若干列第一区域列中的非扫描端的一列区域列中的照射对象区域进行激光照射，

在第二次或之后的扫描中，通过所述一列透镜列以外的透镜列中的透镜，对在所述一列区域列的所述一侧离所述一列区域列最近的所述第二区域列中的照射对象区域进行激光照射，

在第二次或之后的扫描中，通过所述一列透镜列以外的透镜列中的透镜，对在所述一列区域列的所述一侧的相反侧离所述一列区域列最近的所述第二区域列中的照射对象区域进行激光照射。

2.根据权利要求1所述的激光退火装置，其特征在于，

所述控制部在第一次扫描中，通过若干列所述透镜列中的第一端的透镜列所含的透镜，对所述若干列第一区域列中的扫描端的区域列中的照射对象区域进行激光照射，

在第二次或之后的扫描中，通过若干列所述透镜列中的第二端的透镜列所含的透镜，对既是离所述扫描端的区域列最近的所述第一区域列又未作为过扫描对象的区域列中的照射对象区域进行激光照射，所述第二端位于所述第一端的相反侧。

3.根据权利要求1或者2所述的激光退火装置，其特征在于，

所述基板还具有若干列第三区域列，从所述第一区域列开始向所述一侧离开小于所述第一间隔的第三间隔，在该处配置所述第三区域列，

所述第一区域列中的各照射对象区域是第一色的像素部中的薄膜晶体管的特定区域，

所述第二区域列中的各照射对象区域是第二色的像素部中的薄膜晶体管的特定区域，

所述第三区域列中的各照射对象区域是第三色的像素部中的薄膜晶体管的特定区域，

所述控制部在第二次或之后的扫描中，通过一列所述透镜列中的透镜，对在所述一列区域列的所述一侧离所述一列区域列最近的所述第三区域列中的照射对象区域进行激光照射，

所述控制部在第二次或之后的扫描中，通过一列所述透镜列中的透镜，对在所述一列区域列的所述一侧的相反侧离所述一列区域列最近的所述第三区域列中的照射对象区域进行激光照射。

4.根据权利要求3所述的激光退火装置，其特征在于，

所述控制部在第一次扫描中，对所述若干列第一区域列中的一部分对象区域列中的照射对象区域进行激光照射，

所述控制部在第二次扫描中，对位于所述对象区域列的所述一侧且离所述对象区域列最近的所述第二区域列中的照射对象区域进行激光照射，

所述控制部在第三次扫描中，对位于所述对象区域列的所述一侧且离所述对象区域列最近的所述第三区域列中的照射对象区域进行激光照射，

所述控制部在第四次或之后的扫描中，通过若干列所述透镜列中所述一侧的相反侧端部的透镜列中的透镜，对位于所述对象区域列中所述一侧的扫描端的区域列的所述一侧且离该扫描端的区域列最近的所述第一区域列中的照射对象区域进行激光照射。

5.一种激光退火方法，通过照射部处理基板，所述基板具有若干列第一区域列和若干列第二区域列，所述第一区域列是由1个以上照射对象区域构成的区域列并以第一间隔进行配置，从所述第一区域列开始，沿着与所述区域列垂直的方向向一侧离开小于所述第一间隔的第二间隔，在该处配置所述第二区域列，所述照射部中，由1个以上透镜构成的透镜列以所述第一间隔配置若干列，所述照射部在对所述基板进行扫描时，通过所述透镜对所述照射对象区域进行激光照射，所述激光退火方法的特征在于：

在使沿着所述透镜列的列方向与沿着所述区域列的方向一致的状态下，使所述照射部和所述基板沿着所述列方向相对移动，在使所述照射部对所述基板进行扫描时，对于位于与所述透镜列相对应的位置上的各所述区域列，通过与该区域列相对应的透镜列中的透镜对该区域列中的照射对象区域进行激光照射，

在第一次扫描中，通过若干列所述透镜列中的一列透镜列所含的透镜，对所述若干列第一区域列中的非扫描端的一列区域列中的照射对象区域进行激光照射，

在第二次或之后的扫描中，通过所述一列透镜列以外的透镜列中的透镜，对在所述一列区域列的所述一侧离所述一列区域列最近的所述第二区域列中的照射对象区域进行激光照射，

在第二次或之后的扫描中，通过所述一列透镜列以外的透镜列中的透镜，对在所述一列区域列的所述一侧的相反侧离所述一列区域列最近的所述第二区域列中的照射对象区域进行激光照射。