[发明专利]带电粒子束装置以及试样保持器

说明书

本发明为了提供能够容易搜索观察视场的试样保持器，设为该试验保持器具有：试样搭载部(137)，其具备形成有通过搭载具有对位用图案的试样支承部件(115)而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使第一顶面水平地旋转的旋转轴；试样台部(141)，其具备试样搭载部能够上下活动的开口部以及开口部周边的第二顶面；以及试样盖部(140)，其具有导电性并且通过向试样台部的第二顶面的方向按压而使搭载于试样搭载部的试样支承部件的顶面与试样台部的第二顶面成为相同高度。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置以及试样保持器。

背景技术

在以扫描电子显微镜(以下，称为SEM)为代表的带电粒子束装置中，将通过静电透镜、电磁透镜等精细地聚焦的带电粒子束在试样上进行扫描，从试样得到期望的信息(例如试样像)。在使用这种装置观察试样时，判断当前视场处于试样的哪一位置，需要将视场移动至要观察的部位(以下，称为观察视场搜索)。

在专利文献1中公开了能够将在利用光学显微镜(以下，称为OM)的观察中所使用的滑动玻璃直接用作观察试样的、SEM用试样保持器以及搭载了该试样保持器的SEM。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-44967号公报

发明内容

带电粒子束装置具有以下优点：由于使用波长比光短的带电粒子束，因此分辨率高于OM，能够观察从几纳米至几百纳米等级大小的试样(或者试样的结构)。另一方面，根据带电粒子束装置的电子光学系统的条件，对用户来说难以进行视场搜索。针对该问题，在专利文献1中公开了以下方法：在带电粒子束装置观察试样之前，使用OM观察试样的全景，一边与得到的光学图像进行比较一边使用带电粒子束观察试样，由此进行观察视场搜索。

然而，在专利文献1中存在以下问题：在使用由OM拍摄得到的图像(以下，称为观察位置指定图像)进行带电粒子束装置的观察视场搜索的情况下，使观察对象试样上的观察位置指定图像的坐标系与试样台的坐标系一致的校准作业变得繁杂。

本发明的目的在于提供能够容易地搜索观察视场的带电粒子束装置以及试样保持器。

作为用于实现上述目的的一个实施方式，有一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，

上述试样保持器具有：

试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有用于解析中心标记、倍率和旋转角度的图案以及包括地址标记的对位用图案；

试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及

试样盖部，其具有导电性，并且具有露出上述试样支承部件的上述对位用图案的窗，通过向上述试样台部的上述第二顶面的方向按压，使搭载于上述试样搭载部的上述试样支承部件的顶面与上述第二顶面成为相同高度。

根据本发明，可以提供能够容易地搜索观察视场的带电粒子束装置以及试样保持器。

附图说明

图1是表示SEM的系统结构例的截面图(局部框图)。

图2A是表示观察对象试样的OM拍摄动作例的流程图。

图2B是表示观察对象试样的SEM拍摄动作例的流程图。

图3A是表示试样支承部件的概要结构例的鸟瞰图。