[发明专利]带电粒子束装置以及试样保持器

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，

上述试样保持器具有：

试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有对位用图案，该对位用图案包括中心标记、用于解析倍率和旋转角度的图案、以及地址标记；

试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及

试样盖部，其具有导电性，并且具有露出上述试样支承部件的上述对位用图案的窗，通过向上述试样台部的上述第二顶面的方向按压，使搭载于上述试样搭载部的上述试样支承部件的顶面与上述第二顶面成为相同高度，

上述带电粒子束装置还具备使上述试样保持器的位置、朝向或者这两者进行位移的试样移动机构，

上述控制部根据与光学显微镜所拍摄的图像相同视场的相对位置和观察倍率的设定参数来控制上述试样移动机构进行动作。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

用于解析上述倍率和旋转角度的图案为网格图案。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述试样支承部件还具有表面和背面以及方向识别标记。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述试样支承部件为绝缘性材料，表面形成有导电性覆膜。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述试样保持器具备多组的试样搭载部和试样盖部。

6.一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；试样保持器，其载置试样；带电粒子束光学系统，其将从上述带电粒子源释放的带电粒子作为带电粒子束照射到上述试样；检测器，其检测从上述试样释放的信号；以及控制部，其控制各结构要素，该带电粒子束装置的特征在于，

上述试样保持器具有：

试样搭载部，其具备形成有通过搭载试样支承部件而对位的沉孔部的第一顶面以及用于使上述第一顶面水平地旋转的旋转轴，上述试样支承部件具有对位用图案，该对位用图案包括中心标记、用于解析倍率和旋转角度的图案以及地址标记；

试样台部，其具备上述试样搭载部能够上下活动的开口部以及上述开口部周边的第二顶面；以及

试样盖部，其具有导电性，并且具有露出上述试样支承部件的上述对位用图案的窗，通过向上述试样台部的上述第二顶面的方向按压，使搭载于上述试样搭载部的上述试样支承部件的顶面与上述第二顶面成为相同高度，

上述控制部具有：

第一图像处理部，其对第一拍摄数据进行处理，该第一拍摄数据包括用于对使用光学显微镜得到的上述试样支承部件的上述倍率和旋转角度进行解析的图案以及上述中心标记或者上述地址标记；

第二图像处理部，其对第二拍摄数据进行处理，该第二拍摄数据包括用于对使用上述检测器得到的上述试样支承部件的上述倍率和旋转角度进行解析的图案以及上述中心标记；

图案数据存储部，其存储有包括上述对位用图案的形状数据和坐标数据的图案数据；以及

位置和倍率运算部，其使用由上述第一图像处理部处理过的第一图像数据、由上述第二图像处理部处理过的第二图像数据以及存储于上述图案数据存储部的上述图案数据，运算观察倍率以及图案坐标与视场位置的相对位置信息，

上述带电粒子束装置还具备使上述试样保持器的位置、朝向或者这两者进行位移的试样移动机构，

上述控制部根据与上述光学显微镜所拍摄的图像相同视场的相对位置和观察倍率的设定参数来控制上述试样移动机构进行动作。

7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述控制部还具有：视场匹配部，其运算用于得到与由上述光学显微镜得到的视场相同的视场的位置信息。