[发明专利]基板处理装置、控制器以及记录介质

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，至少具备：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的多个部件数据；判断部，其将多个上述部件数据的累计值与针对各部件数据预先设定的阈值进行比较，在多个上述部件数据的至少一个超过该阈值的情况下，判断为更换时期；以及运算部，其计算上述更换时期；以及操作部，其对于上述机构以及构成上述机构的部件的多个上述部件数据，根据每个预定周期的多个上述部件数据的平均值和多个上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，选择针对计算出的与上述机构关联的多个上述部件数据的更换时期中包括上更换时期已过的上述保修部件在内的上述更换时期最近的更换时期，从包括所选择的上述保修部件的上述更换时期中最近的上述更换时期的上述保修部件起依次从上向下排列的方式显示在上述保修部件管理画面上。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述画面控制部将按钮分色显示在上述保修部件管理画面上，该按钮根据计算出上述更换时期，显示上述保修部件的更换时期。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示非显示项按钮，当上述非显示项按钮被按下时，显示未显示在上述保修部件管理画面上的保修部件的信息。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示用于显示上述保修部件的更换时期的按钮，当显示上述保修部件的更换时期的按钮被按下时，对与上述机构相关联的多个部件显示保修部件详细画面，在该保修部件详细画面中显示与上述部件相关联的上述部件数据的阈值和累计值的同时显示各部件的更换时期以及到该更换时期的天数。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示用于显示上述保修部件的更换履历的按钮，当显示上述保修部件的更换履历的按钮被按下时，显示保修部件更换画面，该保修部件更换画面显示包括更换了上述保修部件的次数的部件更换信息。

6.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，

上述画面控制部具备数据跟踪按钮，该数据跟踪按钮在上述保修部件详细画面上对上述部件数据进行图形显示，当上述数据跟踪按钮被按下时，上述操作部使上述显示部在预定期间的时间轴上显示上述保修部件的上述部件数据的累计值。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，

上述画面控制部在分别用线连结的状态下分别显示作为对象的上述部件数据的名称、基准时刻的日期以及每个上述预定期间的上述部件数据的累计值的数据点，由此显示上述部件数据的跟踪图形。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

上述操作部收集与上述机构以及构成上述机构的部件分别对应的部件数据，将通过上述部件数据的累加或者合计计算出的上述部件数据的累计值与针对预先设定的各部件数据的阈值分别进行比较，在至少一个上述部件数据超过上述阈值的情况下，判断为上述更换时期。

9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

还具有将选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件设定为显示对象的保修部件列表，上述操作部从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式更新上述保修部件列表，上述画面控制部根据上述更新的结果在上述显示部显示上述保修部件管理画面。