[发明专利]低摩擦覆膜的制造方法和滑动方法有效
申请号: | 201680008163.1 | 申请日: | 2016-01-29 |
公开(公告)号: | CN107208264B | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 加藤孝久;野坂正隆;远山护;铃木雅裕 | 申请(专利权)人: | 株式会社捷太格特;国立大学法人东京大学 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C10M103/02;F16C19/00;F16C33/12;F16C33/24;F16C33/64 |
代理公司: | 11219 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王海川;穆德骏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 摩擦 制造 方法 滑动 | ||
1.一种低摩擦覆膜的制造方法,其包括:
将空间中的气氛置换为含有含羟基化合物和氢气与氮气中的至少一者的气氛的置换步骤,其中在所述空间中配置有由金属或陶瓷形成的滑动面和包含非晶态碳基膜的被滑动面;和
在已将含有含羟基化合物和氢气与氮气中的至少一者的气氛设置在所述空间中的状态下,使所述滑动面因1.0GPa以上的赫兹接触应力而与所述被滑动面接触而相对滑动的滑动步骤,其中通过所述滑动步骤在所述滑动面上形成所述低摩擦覆膜。
2.根据权利要求1所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述气氛还包含烃类物质。
3.根据权利要求2所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述含羟基化合物和所述烃类物质包含醇。
4.根据权利要求3所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述醇包含甲醇。
5.根据权利要求4所述的低摩擦覆膜的制造方法,
其中所述含羟基化合物还包含水,并且
其中所述气氛包含从其中液态甲醇对液态甲醇和液态水的体积%浓度为6%至15%的水溶液产生的气态甲醇和气态水蒸气。
6.根据权利要求3所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述醇包含乙醇。
7.根据权利要求6所述的低摩擦覆膜的制造方法,
其中所述含羟基化合物还包含水,并且
其中所述气氛包含从其中液态乙醇对液态乙醇和液态水的体积%浓度为6%至30%的水溶液产生的气态乙醇和气态水蒸气。
8.根据权利要求7所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述气氛包含从其中所述液态乙醇对所述液态乙醇和所述液态水的体积%浓度为15%至25%的水溶液产生的气态乙醇和气态水蒸气。
9.根据权利要求3所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述醇包含1-丙醇。
10.根据权利要求3所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述醇包含2-丙醇。
11.根据权利要求3、4、6、9和10中任一项所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中
所述含羟基化合物为从含有100%比率的所述醇的溶液产生的气态醇。
12.根据权利要求1至10中任一项所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述含羟基化合物包含水。
13.根据权利要求1至10中任一项所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述赫兹接触应力为1.3GPa至2.4GPa。
14.根据权利要求11所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述赫兹接触应力为1.3GPa至2.4GPa。
15.根据权利要求12所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述赫兹接触应力为1.3GPa至2.4GPa。
16.根据权利要求1至10、14和15中任一项所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述非晶态碳基膜包含短链聚炔烃类分子作为主要成分。
17.根据权利要求11所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述非晶态碳基膜包含短链聚炔烃类分子作为主要成分。
18.根据权利要求12所述的低摩擦覆膜的制造方法,其中,
所述非晶态碳基膜包含短链聚炔烃类分子作为主要成分。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的