[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器阵列

权利要求书

1.一种电磁波检测器，其特征在于，包括：

基板；

绝缘层，设置于该基板之上；

石墨烯层，设置于该绝缘层之上；

一对电极，夹着该石墨烯层设置于该绝缘层之上；以及

缓冲层，分别夹在该石墨烯层与该一对电极之间并将它们隔离，以妨碍该石墨烯层与该一对电极之间的电荷的移动。

2.根据权利要求1所述的电磁波检测器，其特征在于，

所述一对电极由相同材料构成。

3.根据权利要求1所述的电磁波检测器，其特征在于，

所述一对电极中的一个电极的材料与所述一对电极中的另一个电极的材料不同。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

在所述石墨烯层与所述电极之间形成有与该石墨烯层中的狄拉克点不同的狄拉克点(DPe)。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

所述电极包括金属，所述缓冲层包括该金属的氧化物。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

以覆盖所述石墨烯层以及所述缓冲层的方式设置有保护膜。

7.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

在所述一对电极中，电极与所述石墨烯层夹着所述缓冲层而相向的部分的面积在该电极之间不同。

8.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

设置于所述一对电极中的一个电极与所述石墨烯层之间的缓冲层的材料与设置于所述一对电极中的另一个电极与所述石墨烯层之间的缓冲层的材料不同。

9.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

在所述电极的表面形成有发生表面等离激元共振的周期性的凹部或者凸部。

10.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

在所述石墨烯的表面形成有发生表面等离激元共振的周期性的凹部或者凸部。

11.根据权利要求9所述的电磁波检测器，其特征在于，

所述周期性的凹部包括1维或者2维地配置的周期性的孔或者并排配置的1维的槽。

12.根据权利要求10所述的电磁波检测器，其特征在于，

所述周期性的凹部包括1维或者2维地配置的周期性的孔或者并排配置的1维的槽。

13.根据权利要求1～3中的任一项所述的电磁波检测器，其特征在于，

所述石墨烯层具有2层以上的石墨烯的层叠构造、2维材料、2维材料的层叠构造或者石墨烯与2维材料的层叠构造。

14.一种电磁波检测器阵列，其特征在于，

阵列状地配置有权利要求1～13中的任一项所述的电磁波检测器。

15.一种电磁波检测器阵列，其特征在于，

阵列状地配置有作为权利要求9～13中的任一项所述的电磁波检测器的相互不同的电磁波检测器。