[实用新型]一种太阳能电池片表面缺陷检测系统有效
申请号: | 201621467285.0 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN206490044U | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 刘晓勇;黄天宇;刘博明 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛可视自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人: | 赵俊宏 |
地址: | 066000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 表面 缺陷 检测 系统 | ||
1.一种太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,包括工作台(100)、缺陷检测装置(200)以及控制装置,所述缺陷检测装置(200)包括电池片正面缺陷检测装置(220),电池片正面缺陷检测装置(220)设置于工作台(100)的上方,所述电池片正面缺陷检测装置(220)包括彩色相机(221)和图像获取装置(222),图像获取装置(222)用以获取电池片正面缺陷图像,彩色相机(221)用以获取电池片正面颜色图像,所述控制装置包括接收图像并对颜色和表面缺陷进行处理分析的处理装置,所述处理装置设置有对颜色进行分析处理的颜色处理模块和对正面缺陷进行处理的正面缺陷处理模块,彩色相机(221)与颜色处理模块通信连接,图像获取装置(222)与正面缺陷处理模块通信连接。
2.如权利要求1所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述缺陷检测装置(200)还包括电池片背面缺陷检测装置(201),电池片背面缺陷检测装置(201)设置于工作台(100)的下方,用以获取电池片背面缺陷图像,所述处理装置内还设置有背面缺陷处理模块,背面缺陷检测装置(201)与背面缺陷处理模块通信连接,所述的工作台(100)为传输装置。
3.如权利要求2所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述电池片背面缺陷检测装置(201)为线扫成像装置,线扫成像装置设置在检测传输装置的进料端或出料端,用以获取太阳能电池片整个背面的缺陷图像。
4.如权利要求2所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述的太阳能电池片缺陷检测系统还包括上料装置(300),所述上料装置(300)包括上料用传输装置(301),上料用传输装置(301)的输出端与检测传输装置的输入端相对接,上料用传输装置(301)为真空吸附传输装置。
5.如权利要求2或4所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述的太阳能电池片缺陷检测系统还包括下料装置(400),所述下料装置(400)包括下料用传输装置(401),下料用传输装置(401)的输入端与检测传输装置的输出端相对接,下料用传输装置(401)也是真空吸附传输装置。
6.如权利要求2所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述电池片背面缺陷检测装置(201)为线扫成像装置,线扫成像装置设置在检测传输装置的进料端或出料端,用以获取太阳能电池片整个背面的缺陷图像,所述的太阳能电池片缺陷检测系统还包括下料装置(400),所述下料装置(400)包括下料用传输装置(401),下料用传输装置(401)的输入端与检测传输装置的输出端相对接,下料用传输装置(401)也是真空吸附传输装置,所述下料用传输装置(401)的输入端与检测传输装置的输出端之间设置有间隙(4),所述线扫成像装置的镜头朝向所述间隙(4)。
7.如权利要求1所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述工作台为检测传输装置,还包括上料用传输装置和下料用传输装置,由上料用传输装置与检测传输装置的进料端对接,由下料传输装置与检测用传输装置的出料端对接,所述上料用传输装置和下料用传输装置(401)及检测传输装置均为带输送装置。
8.如权利要求4所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述的上料装置(300)还包括上料料盒(303)和上料用移位装置(302),上料用移位装置(302)用以将上料料盒(303)的太阳能电池板移动至上料用传输装置(301)上,所述的上料用移位装置(302)为吸盘移位装置,所述的上料用移位装置(302)与所述控制装置通信连接。
9.如权利要求5所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述的下料装置(400)还包括若干个下料料盒(403)和下料用移位装置(402),所述的若干个下料料盒(403)用以存储不同检测结果的太阳能电池片,所述的下料用移位装置(402)也是吸盘移位装置,下料用移位装置(402)与控制装置通信连接。
10.如权利要求2所述的太阳能电池片缺陷检测系统,其特征在于,所述检测传输装置设置于箱体一(1)内,箱体一(1)的两端设置开口,线扫成像装置设置于箱体一(1)的底侧,彩色相机(221)和图像获取装置(222)设置于箱体二(2)内,箱体二(2)设置于箱体一(1)上并与箱体一(1)相连通,所述箱体二(2)内设置有光源(3)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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