[实用新型]一种用于立式扩散炉的石英舟

权利要求书

1.一种用于立式扩散炉的石英舟，包括石英舟本体，所述本体上设有用于放置硅片的舟槽，其特征在于：所述本体包括中空的中心筒、支撑板和石英棒，支撑板沿中心筒周向均匀设置在中心筒外侧面上且相对中心筒轴心线平行；相邻的所述支撑板间设有多根石英棒，所述石英棒间平行设置且对应硅片的下部弧形间隔排列，所述石英棒朝向硅片一侧均匀设置多个刻槽，石英棒间的刻槽一一对应并共同构成所述舟槽，所述舟槽以中心筒轴心线为中心相对呈放射性设置；所述中心筒位于两相邻支撑板之间设置有贯通中心筒内腔的排气口。

2.根据权利要求1所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：所述石英棒为圆弧结构并沿中心筒周向设置，且所述刻槽沿石英棒圆弧的圆心呈放射性均匀设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：相邻所述支撑板间的石英棒间相平行设置，且石英棒两端到中心筒距离相同。

4.根据权利要求1所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：所述刻槽的开口处设有倒角，倒角之间夹角呈50-80°。

5.根据权利要求1所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：所述石英棒由石英圈替代，所述石英圈与中心筒呈同心设置，并在支撑板设有对应石英圈固定放置的卡槽。

6.根据权利要求1所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：所述中心筒包括同轴设置的上筒体和下筒体，沿上筒体和下筒体轴心线设置等径内孔；所述下筒体外径大于上筒体外径大小；沿上筒体周向设置多个排气口，所述支撑板设置在上筒体上并位于相邻两排气口之间。

7.根据权利要求6所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：所述中心筒上设置起吊槽，所述起吊槽位于排气口上方且开口朝下设置。

8.根据权利要求1所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：还包括呈圆形的石英底盘，所述石英底盘对应同轴设置中心筒底部，并且所述石英底盘中间设置与中心筒内径大小的通孔；所述石英底盘下端面设置凸台，所述支撑板间上端面平齐，并设置与所述凸台对应的凹槽，所述凹槽底面与中心筒的上端面平齐；所述支撑板下端连接石英底盘上端面。

9.根据权利要求8所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：所述石英底盘的上端面设置与其同心的圆形凹槽，所述圆形凹槽的直径大小对应舟槽宽度。

10.根据权利要求8所述的一种用于立式扩散炉的石英舟,其特征在于：所述石英底盘下端面的凸台上还设置对应中心筒上端的大小的底部凹槽；支撑板间上端面与中心筒的上端面平齐，在支撑板设置与凸台对应的环形凹槽。