[实用新型]一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手

权利要求书

1.一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手，所述晶圆盒定位于载物台上，所述晶圆盒包括盒体和把手，所述把手俯视大体呈U字形，所述把手的两自由端分别连接在所述盒体的外侧面上，其特征在于，所述机械手包括：

手爪，所述手爪侧视大体呈J字形；

定位传感器，所述定位传感器设置在所述手爪的非弯钩一侧并与搬运控制器通讯，所述搬运控制器分别控制搬运驱动单元驱动机械臂动作和控制所述定位传感器在移动过程中对设置在所述载物台上的定位件进行检测以得到检测到的反馈，所述搬运控制器根据检测到的反馈发出执行抓取动作的指令；

锁紧机构，所述锁紧机构包括锁紧块、锁紧驱动单元以及锁紧控制器，所述锁紧块设置在所述手爪的弯钩一侧，所述锁紧驱动单元驱动所述锁紧块上下运动并与所述锁紧控制器通讯，所述锁紧控制器与所述搬运控制器通讯，所述锁紧块上行以使其下端远离所述手爪的弯钩自由端或下行以使其下端抵靠在所述手爪的弯钩自由端。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械手还包括检测传感器，所述检测传感器设置在所述手爪的非弯钩一侧并与所述锁紧控制器通讯，所述锁紧控制器控制所述检测传感器对所述盒体的设定位置进行检测已得到检测到或未检测到的反馈，所述搬运控制器根据检测到的反馈发出执行搬运动作的指令或根据未检测到的反馈重新执行抓取动作的指令。

3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述定位传感器采用视觉传感器，所述检测传感器采用光电传感器。

4.根据权利要求1或2所述的机械手，其特征在于，所述手爪的非弯钩部分设有贯通至所述手爪的弯钩自由端的释放槽，所述释放槽的下端口位置的两槽壁主视大体呈八字形。

5.根据权利要求1或2所述的机械手，其特征在于，所述手爪的弯钩自由端和与其相对的手爪的非弯钩部分的相对面分别加工有两导向斜面，所述两导向斜面侧视大体呈倒置八字形。

6.根据权利要求1或2所述的机械手，其特征在于，所述锁紧驱动单元包括电机和减速器，所述电机设有一编码器且其输出端连接所述减速器，所述电机与所述锁紧控制器通讯，所述锁紧机构还包括锁紧传动单元和锁紧导向单元，所述锁紧传动单元包括丝杆螺母组件和齿轮组件，所述丝杆螺母组件包括丝杆和螺母，所述螺母可转动的支撑在一对轴承上，所述丝杆沿上下方向旋移连接在所述螺母的内侧，所述齿轮组件包括第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿轮套设安装在所述减速器的输出端上，所述第二齿轮套设安装在所述螺母的外侧，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合传动，所述锁紧导向单元包括移动块和导向杆，所述移动块连接在所述丝杆的下端并上下可移动的设置，所述移动块的上端连接所述导向杆。

7.根据权利要求6所述的机械手，其特征在于，所述丝杆和所述螺母之间为梯形螺牙旋移传动，所述第一齿轮和所述第二齿轮之间为直形齿牙啮合传动，所述轴承与所述螺母之间还设置有三波峰垫圈。

8.根据权利要求6所述的机械手，其特征在于，所述锁紧机构还包括接近传感器，所述接近传感器设置在所述导向杆的上方，所述接近传感器与所述锁紧控制器通讯，所述锁紧控制器分别控制所述电机驱动导向杆动作和控制所述接近传感器检测其与运动中的所述导向杆的距离以得到二者之间为设定距离的反馈，当接近传感器发出反馈信号时，此时导向杆的位置为锁紧机构上下移动的零点位置，机构在运动过程中的其余位置点都是相对零点来确定的。

9.根据权利要求6所述的机械手，其特征在于，所述螺母、所述第一齿轮以及所述第二齿轮内置在一壳体中，所述丝杆和所述导向杆穿过所述壳体的通孔并且分别与所述壳体的通孔螺纹连接和滑动连接，所述壳体的内壁设有一储存油脂以为所述第一齿轮和所述第二齿轮供油的储油槽，所述导向杆和与其配合的通孔之间还过盈安装有无油轴承。

10.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述机械手通过安装板连接在所述机械臂的末端，所述手爪的非弯钩自由端连接在所述安装板上，所述定位传感器和所述检测传感器分别装配在所述安装板上，所述锁紧机构装配在所述手爪的非弯钩部分，所述机械手还包括封板，所述封板包括罩设在所述定位传感器的上方的第一封罩和罩设在所述锁紧机构的外侧的第二封罩，所述第一封罩的下端设有与所述安装板连接敞开口，所述第二封罩的一侧设有与手爪的非弯钩部分连接的第二敞开口。