[实用新型]一种具有摆动式喷头的二极管清洗装置有效
| 申请号： | 201620620854.4 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN205701638U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 石治洪;陈林;朱灿;欧博;文海 | 申请（专利权）人： | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 商小川 |
| 地址： | 550025 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 摆动 喷头 二极管 清洗 装置 | ||
【说明书】：
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