[发明专利]电弧等离子体废气处理装置

说明书

本发明涉及电弧等离子体废气处理装置，本发明的电弧等离子体废气处理装置包括：等离子体发生部(1)，通过电弧放电产生火焰，通过所流入的工作气体生成等离子体；反应部(5)，使从上述等离子体发生部(1)移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及洗涤部(3)，通过对在上述反应部(5)进行处理的气体进行洗涤，使温度降低，上述等离子体发生部(1)通过多级旋涡结构体(200)以多级的方式向阳极部(100)供给工作气体，上述洗涤部(3)通过多个冷却模块依次供给冷却流体来执行冷却。

技术领域

本发明涉及电弧等离子体废气处理装置，更详细地，为了多级供给向工作气体而在多个电极的周围配置多级旋涡结构体来可控制所形成的火焰的长度的电弧等离子体废气处理装置。

背景技术

通常，等离子体为由具有电极性的电子及离子构成的第四物质状态，整体上以负电荷数和正电荷数几乎相同的密度分布，在电方面几乎形成中性。等离子体分为如电弧等的温度高的高温等离子体和低温等离子体，在低温等离子体中，电子的能量虽高，但离子的能量低，因而实际感受到的温度相当于室温，大多借助直流、交流、超高频、电子束等的电放电来生成。

在韩国公开专利10-2016-0043820号中，公开了利用这种等离子体来处理废气等的装置结构。

通常，这种等离子体的发生方式之一为通过电弧放电来发生等离子体，在此情况下，废气处理装置包括：等离子体发生部，通过电弧放电产生气炬，即火焰，通过所流入的工作气体来生成等离子体；反应部，使从上述等离子体发生部移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及洗涤部，借助水等来对在上述反应部进行处理的气体进行洗涤，使温度降低。

在上述等离子体发生部中，为了在阴电极与阳电极之间发生等离子体，通过供给管以可使工作气体做回旋运动的方式注入工作气体，通过施加电源来产生电弧放电，从而形成射流等离子体。

另一方面，需借助阴电极与阳电极之间的电极间隔来产生火焰，在通过点火形成火焰后，需通过供给工作气体来控制火焰长度，但以往技术采用通过单一旋涡结构物供给工作气体的方式，因而存在所形成的火焰的长度多少受限制的缺点。

另一方面，需要一种在有效管理在反应部混合等离子体和所流入的废气后在通过洗涤部降低温度之后排出的过程中所产生的热量的同时可减少有害产物的方案。

专利文献1：韩国公开专利10-2016-0043820A

发明内容

本发明用于解决如上所述的以往的问题，本发明的目的在于提供为了多级供给向阴电极与阳电极之间供给的工作气体而在多个电极的周围配置多级旋涡结构体来可控制所形成的火焰的长度的电弧等离子体废气处理装置。

用于实现如上所述的目的的电弧等离子体废气处理装置包括：等离子体发生部1，通过电弧放电产生火焰，通过所流入的工作气体生成等离子体；反应部5，使从上述等离子体发生部1移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及洗涤部3，通过对在上述反应部5进行处理的气体进行洗涤，使温度降低，上述等离子体发生部1通过多级旋涡结构体200以多级的方式向阳极部100供给工作气体，上述洗涤部3通过多个冷却模块依次供给冷却流体来执行冷却。

上述等离子体发生部包括：阴极部10；阳极部100，向上述阴极部10的下部方向与上述阴极部10隔开配置；以及旋涡结构体200，以包围上述阴极部10和阳极部100的方式配置，上述阳极部100包括：上部阳极110，以包围上述阴极部10的下部的一部分的形态配置；以及下部阳极120，在与上述上部阳极110之间形成能够供给工作气体的空间的状态下沿着上述上部阳极110的下部方向相结合，上述旋涡结构体200包括：第一旋涡结构体210，通过形成于上述上部阳极110的第一工作气体喷嘴115来供给工作气体；以及第二旋涡结构体220，通过形成于上述下部阳极120的第二工作气体喷嘴124来供给工作气体。