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[发明专利]具有防吸附粉末装置的排气模块以及等离子洗涤装置-CN201611190942.6有效
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及具有防吸附粉末装置的排气模块以及等离子洗涤装置。本发明的排气模块连接在工艺腔(10)与等离子洗涤器(200)之间，来使在所述工艺腔产生的废气向所述等离子洗涤器传递，在所述具有防吸附粉末装置的排气模块中，所述排气模块(100)包括：排气管(102)，用于连接真空泵(20)与所述等离子洗涤器(200)之间；多个吹扫气体供给管(110)，依次设置于所述排气管(102)的内部，用于排出吹扫气体；以及控制部(120)，用于控制通过所述多个吹扫气体供给管排出吹扫气体的排出顺序，借助通过所述多个吹扫气体供给管排出的吹扫气体，增加所述排气模块内部的压力，来具有防止粉末的堆积及吸附的效果。
具有吸附粉末装置排气模块以及等离子洗涤

[发明专利]电弧等离子体废气处理装置-CN201611191600.6有效
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明涉及电弧等离子体废气处理装置，本发明的电弧等离子体废气处理装置包括：等离子体发生部(1)，通过电弧放电产生火焰，通过所流入的工作气体生成等离子体；反应部(5)，使从上述等离子体发生部(1)移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及洗涤部(3)，通过对在上述反应部(5)进行处理的气体进行洗涤，使温度降低，上述等离子体发生部(1)通过多级旋涡结构体(200)以多级的方式向阳极部(100)供给工作气体，上述洗涤部(3)通过多个冷却模块依次供给冷却流体来执行冷却。
电弧等离子体废气处理装置

[发明专利]具有阻隔壁的等离子洗涤装置-CN201611192327.9有效
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明涉及具有阻隔壁的等离子洗涤装置，包括：气炬部(210)，通过电弧放电来产生火焰，即气炬；反应部(220)，利用在上述气炬部所产生的火焰来对废气进行热处理；以及洗涤部(230)，对在上述反应部进行处理的气体进行洗涤，上述反应部(220)包括：反应室(222)，上述火焰及废气流入上述反应室(222)，借助上述火焰产生上述废气的热分解反应；以及阻隔壁(224)，设置于上述反应室的内部，通过穿孔形成有排出口(2241)，上述阻隔壁通过阻挡上述火焰下降的进路来使上述火焰的旋涡扩散及分散，从而增加上述火焰停留在上述反应室内的时间。
具有阻隔等离子洗涤装置

[发明专利]提高点火性能的低压等离子体反应器-CN201611191598.2有效
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及提高点火性能的低压等离子体反应器。根据本发明，提供一种低压等离子体反应器，上述低压等离子体反应器包括：放电管(140)，由电介质构成；金属镀金部(150)，形成于上述放电管的内壁面；以及导波管(130)，向上述放电管引导微波，多个上述金属镀金部在上述放电管的内壁面隔开配置。
提高点火性能低压等离子体反应器

[发明专利]具有多级旋涡结构体的等离子体发生部及废气处理装置-CN201611190171.0有效
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及具有多级旋涡结构体的等离子体发生部及废气处理装置，本发明的具有多级旋涡结构体的等离子体发生部包括：阴极部(10)；阳极部(100)，与上述阴极部(10)隔开配置；以及旋涡结构体(200)，以包围上述阴极部(10)和阳极部(100)的方式配置，为了生成等离子体，上述旋涡结构体(200)通过上述阳极部(100)以多级方式供给工作气体。
旋涡结构等离子体发生部阳极部阴极部废气处理装置等离子体多级方式方式配置工作气体隔开包围配置

[发明专利]使等离子体处理气体快速冷却的洗涤部以及废气处理装置-CN201611192465.7在审
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明涉及使等离子体处理气体快速冷却的洗涤部以及废气处理装置，本发明的洗涤部用于构成利用等离子体对所供给的废气进行处理的装置，上述洗涤部包括：壳体(310)，呈中空圆筒形状；第一冷却模块(320)，配置于上述壳体(310)的内部上侧；以及第二冷却模块(340)，在上述第一冷却模块(320)的下部侧，以能够分离的方式与上述壳体(310)的内部相结合，通过借助由上述第一冷却模块(320)向上述壳体(310)供给的第一冷却流体在上述壳体(310)的上端所形成的幕膜及借助由上述第二冷却模块(340)供给的第二冷却流体在上述幕膜的下部侧所形成的喷射区域来执行冷却。
冷却模块壳体洗涤等离子体处理废气处理装置快速冷却冷却流体等离子体中空圆筒形状喷射区域上端废气冷却配置

[发明专利]等离子体气炬用阳极结构物及等离子体气炬-CN201611192544.8在审
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H05H1/40 文献下载
摘要：本发明提供等离子体气炬用阳极结构物及等离子体气炬，本发明的等离子体气炬用阳极结构物包括：电极本体(110)，在内部形成有沿着中心轴线(A)延伸的内部通道(111)；以及多个永久磁铁(120)，与上述电极本体相结合，上述多个永久磁铁以互相隔开的方式配置在上述电极本体的外周面。
等离子体气炬电极本体阳极结构永久磁铁方式配置互相隔开内部通道中心轴线外周面延伸

[实用新型]阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器-CN201621419756.0有效
发明人：金翼年;姜成玉;安在闰;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器，上述阴极电极的散热结构包括，与构成气炬部(110)的阴极电极的一侧相连接来向上述阴极电极传递冷却水的冷却水供给管(1141)，在上述阴极电极的散热结构中，通过使与上述冷却水相接触的上述阴极电极的表面(114a)不平坦，来增加上述阴极电极与上述冷却水之间的接触面积。
阴极电极散热结构等离子体洗涤器

[发明专利]利用阶梯部和阻挡部的等离子体波导-CN201410116865.4有效
发明人：金翼年;姜成玉;严敏钦 -专利权人：韩国三重核心株式会社
申请日： 2014-03-26 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： H01P3/123 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用阶梯部和阻挡部的等离子体波导。从磁控管振荡的微波移动通过该等离子体波导，该等离子体波导包括多个阶梯部，形成在波导的内侧表面上的任意一侧；预定高度的阻挡部，形成在波导的内侧表面上的任意另一侧，其中，阻挡部形成在与多个阶梯部之间的边界部相对的一侧处。因此，可以有效地解决贯穿整个波导的3‑桩系统中涉及的微波泄露的问题和因微波向外行进而损坏外部系统的问题。此外，因为设置在波导的内侧表面的预定高度的阻挡部位于与阶梯部相对的表面处，所以可以将具有在微波传播方向上逐渐减小的高度的波导内的微波集中的效果最大化。
利用阶梯阻挡等离子体波导

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