[发明专利]电弧等离子体废气处理装置

权利要求书

1.一种电弧等离子体废气处理装置，其特征在于，包括：

等离子体发生部(1)，通过电弧放电产生火焰，通过所流入的工作气体生成等离子体；

反应部(5)，使从上述等离子体发生部(1)移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及

洗涤部(3)，通过对在上述反应部(5)进行处理的气体进行洗涤，使温度降低，

上述等离子体发生部(1)包括阴极部(10)、向上述阴极部(10)的下部方向与上述阴极部(10)隔开配置的阳极部(100)以及以包围上述阴极部(10)和阳极部(100)的方式配置的旋涡结构体(200)，并且通过多级旋涡结构体(200)以多级的方式向所述阳极部(100)供给工作气体，

上述洗涤部(3)通过多个冷却模块依次供给冷却流体来执行冷却，

其中，上述阳极部(100)包括：

上部阳极(110)，以包围上述阴极部(10)的下部的一部分的形态配置；以及

下部阳极(120)，在与上述上部阳极(110)之间形成能够供给工作气体的空间的状态下沿着上述上部阳极(110)的下部方向相结合，

上述上部阳极(110)包括：上部阳极本体(111)，呈中空圆筒形状；第一阳极流路(112)，在上述上部阳极本体(111)的内部面上倾斜而成；第二阳极流路(113)，与上述第一阳极流路(112)的下端相连接；阳极槽(114)，以槽形态在上述上部阳极本体(111)的上部外侧面上沿着圆周方向形成，从上述旋涡结构体(200)接收工作气体；以及第一工作气体喷嘴(115)，从上述阳极槽(114)向上部阳极本体(111)的内周面上延伸而成，

上述下部阳极(120)包括：下部阳极本体(121)，呈中空圆筒形状；阳极连接部(122)，形成于上述下部阳极本体(121)的上部；台阶部，以在上述阳极连接部(122)的上部形成缓冲空间(126)的方式按规定厚度延伸而成；第二工作气体喷嘴(124)，在贯通上述台阶部的内周面及外周面而成的状态下，接收从上述旋涡结构体(200)供给的工作气体，

上述旋涡结构体(200)包括：

第一旋涡结构体(210)，向形成于上述上部阳极(110)的上述阳极槽(114)供给工作气体；以及

第二旋涡结构体(220)，向形成于上述下部阳极(120)的上述第二工作气体喷嘴(124)供给工作气体。

2.根据权利要求1所述的电弧等离子体废气处理装置，其特征在于，

上述第一旋涡结构体(210)包括：第一旋涡本体(211)，呈中空圆筒形状；冷却流路(216)，沿着铅垂方向形成于上述第一旋涡本体(211)内；以及冷却水填充部(217)，与上述冷却流路(216)的上端相连通，

上述第二旋涡结构体(220)包括：第二旋涡本体(221)，呈中空圆筒形状；突出部(222)，形成于上述第二旋涡本体(221)的上部；冷却流路(223)，沿着铅垂方向形成于上述第二旋涡本体(221)内；以及凹陷部(226)，形成于上述第二旋涡本体(221)的下部，

上述下部阳极(120)还包括：冷却流路(125)，沿着铅垂方向形成于上述下部阳极本体(121)内，

在上述突出部(222)的内侧，在上述第一旋涡结构体(210)和上述第二旋涡结构体(220)沿着上下方向相结合的状态下，提供使经过上述第一旋涡结构体(210)的上述冷却流路(216)的冷却水在进入第二旋涡结构体(220)的冷却流路(223)之前临时停留的空间，

上述凹陷部(226)提供使经过上述第二旋涡结构体(220)的冷却流路(223)的冷却水在进入上述下部阳极(120)的上述冷却流路(125)之前临时停留的空间。

3.根据权利要求1所述的电弧等离子体废气处理装置，其特征在于，

上述洗涤部包括：

壳体(310)，呈中空圆筒形状；

第一冷却模块(320)，配置于上述壳体(310)的内部上侧；以及

第二冷却模块(340)，在上述第一冷却模块(320)的下部侧，以能够分离的方式与上述壳体(310)的内部相结合，

通过借助由上述第一冷却模块(320)向上述壳体(310)供给的第一冷却流体在上述壳体(310)的上端所形成的幕膜及借助由上述第二冷却模块(340)供给的第二冷却流体在上述幕膜的下部侧所形成的喷射区域来执行冷却。

4.根据权利要求3所述的电弧等离子体废气处理装置，其特征在于，上述第二冷却模块(340)在从上述第一冷却模块(320)朝向下部方向隔开规定距离的状态下以多级的方式配置有多个。