[发明专利]检测方法及其应用的检测设备

权利要求书

1.一种检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

检测显示面板中是否具有缺陷位置；

在检测获得所述显示面板上的缺陷位置后，利用第一离子检修装置发出的第一束聚焦离子束对所述显示面板上的缺陷位置进行切割，以将所述缺陷位置处的缺陷进行剥离并观察缺陷形貌；

然后，应用修复装置对剥离缺陷之后的缺陷位置进行修复处理；

其中，用于检测缺陷位置的检测装置、第一离子检修装置和修复装置顺序地安装在同一条生产线上。

2.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置为光学检测机器，所述光学检测机器通过光学摄像头扫描整块所述显示面板以采集图像，并与光学检测机器的数据库中存储的合格参数进行比较，以确定所述显示面板上的缺陷位置以及观察缺陷形貌。

3.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置为第二离子检修装置，利用第二离子检修装置所发出的第二束聚焦离子束对显示面板进行扫描显像，以确定所述玻璃面板上的缺陷位置以及观察缺陷形貌。

4.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，在对所述缺陷位置的缺陷进行剥离的过程中，同时利用扫描电子显微镜对进行剥离的缺陷位置进行观察，以实时判断剥离结果是否符合后续的修复要求。

5.如权利要求1至4中任一项所述的检测方法，其特征在于，在检测显示面板是否具有缺陷位置之前，对所述显示面板进行薄膜镀膜处理以获得薄膜镀膜层，其中，所述缺陷位置处的缺陷为薄膜镀膜层的缺陷。

6.如权利要求5所述的检测方法，其特征在于，在完成应用修复装置对剥离缺陷之后的缺陷位置进行修复处理之后，再将所述显示面板进行后续的黄光制程工艺。

7.一种检测设备，其特征在于，包括：

用于检测显示面板的缺陷位置的检测装置；

用于切割所述显示面板的缺陷位置的第一离子检修装置；

用于对显示面板的切割完成后的缺陷位置进行修复的修复装置；

所述检测装置、所述第一离子检修装置及所述修复装置顺序地安装在同一条生产线上。

8.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，

所述检测装置为光学检测机器；或者，

所述检测装置为第二离子检修装置。

9.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括用于对显示面板的缺陷位置的剥离过程进行观察的扫描电子显微镜，所述扫描电子显微镜与所述第一离子检修装置并排设置。

10.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括薄膜镀膜装置，所述薄膜镀膜装置设置在所述检测装置的上游位置。