[发明专利]一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用有效
申请号: | 201611105094.4 | 申请日: | 2016-12-05 |
公开(公告)号: | CN108147983B | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 杨国强;袁华;许箭;彭晓曼;王亮乾;王双青 | 申请(专利权)人: | 中国科学院化学研究所 |
主分类号: | C07C309/04 | 分类号: | C07C309/04;C07C303/32;C07D333/18;G03F7/004;G03F7/20 |
代理公司: | 11535 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘元霞;牛艳玲 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻胶 分子玻璃 硫鎓盐 多酚 光刻 键合 制备方法和应用 熔点 极紫外光刻 光刻技术 小分子化合物 玻璃化转变 电子束光刻 负性光刻胶 光刻胶配方 光刻胶涂层 光致产酸剂 薄膜结构 高温烘烤 厚度均匀 不对称 交联剂 无变化 无定形 旋涂法 复配 可用 正性 | ||
1.通式(I)或通式(II)化合物,
式(I)或式(II)中,X-选自Cl-、BF4-、PF6-、AsF6-、SbF6-、CF3SO3-、CF3CF2CF2CF2SO3-、R彼此独立的选自H、-C1-8烷基、芳基;R1彼此独立的选自H、-C1-8烷基、-COOC1-8烷基、-C1-8烷基-O-C1-8烷基、-C1-8烷基-OCO-芳基、-C1-8烷基-OC1-8烷基-OCOC1-8烷基、-C1-8烷基-OC1-8烷基-OCO-芳基、
2.如权利要求1所述的通式(I)或通式(II)化合物,其中,R彼此独立的选自H、-C1-8烷基、
3.如权利要求1所述的通式(I)或通式(II)化合物,其中,R1彼此独立的选自H、-C1-8烷基、
4.根据权利要求1所述的化合物,其中,所述化合物为:
5.权利要求1-4任一项所述的通式(I)或通式(II)化合物的制备方法,其特征在于,所述通式(I)化合物的制备方法包括:
其中X-、R如权利要求1-4任一项中所定义,R1如权利要求1-4任一项中所定义,且R1不全都为H;
(1)化合物(III)与R-SO-R或者R-S-R发生锍化反应;之后任选的与盐进行阴离子交换反应,得到化合物(I-A);其中,X独立的选自Cl-、BF4-、PF6-、AsF6-、SbF6-、CF3SO3-、CF3CF2CF2CF2SO3-、
(2)上述步骤(1)中得到的化合物(I-A)与R2OR2、R3Z或CH2=CR5-OR4反应,其中R2为-COOC1-8烷基、中的一种,R3、R4独立的任选为-C1-8烷基、-COOC1-8烷基、-C1-8烷基-O-C1-8烷基、-C1-8烷基-OCO-芳基、-C1-8烷基-OC1-8烷基-OCOC1-8烷基、-C1-8烷基-OC1-8烷基-OCO-芳基、R5独立的任选为H、-C1-8烷基,Z为卤素;得到化合物(I-B),其中,R1如上述所定义,且R1不全都为H,即羟基全保护或部分保护的通式(I)化合物;
或者,所述通式(II)化合物的制备方法包括:
其中X-、R如权利要求1-4任一项中所定义,R1如权利要求1-4任一项中所定义,且R1不全都为H;
(1’)化合物(IV)与R-SO-R或者R-S-R发生锍化反应,之后任选的与盐进行阴离子交换反应,生成化合物(II-A);其中,X独立的选自Cl-、BF4-、PF6-、AsF6-、SbF6-、CF3SO3-、CF3CF2CF2CF2SO3-、
(2’)上述步骤(1’)中得到的通式(II-A)化合物与R2OR2、R3Z或CH2=CR5-OR4反应,其中R2为-COOC1-8烷基、中的一种,R3、R4独立的任选为-C1-8烷基、-COOC1-8烷基、-C1-8烷基-O-C1-8烷基、-C1-8烷基-OCO-芳基、-C1-8烷基-OC1-8烷基-OCOC1-8烷基、-C1-8烷基-OC1-8烷基-OCO-芳基、R5独立的任选为H、-C1-8烷基,Z为卤素;得到化合物(II-B),其中,R1如权利要求1-4任一项所定义,且R1不全都为H,即羟基全保护或部分保护的通式(II)化合物。
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