[发明专利]一种覆铜陶瓷及其制备方法有效
申请号: | 201611095518.3 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN108147832B | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 邵长健;林信平;徐强;刘成臣;宋山青 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;C04B37/02 |
代理公司: | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人: | 谭果林 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
1.一种覆铜陶瓷,其特征在于,包括有氮化铝陶瓷、改性层和铜层;
所述氮化铝陶瓷的表面形成有氧化铝膜;
所述改性层中包括改性颗粒,所述改性颗粒包括玻璃粉,所述改性层位于所述氧化铝膜和铜层之间;
所述改性层部分渗入所述氧化铝膜内形成莫来石相。
2.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷,其特征在于,所述氮化铝陶瓷为片状材料,厚度为0.3~2mm。
3.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷,其特征在于,所述玻璃粉包括硅氧化物和硅酸盐中的一种或多种。
4.根据权利要求1或3所述的覆铜陶瓷,其特征在于,所述改性颗粒还包括氧化铝,所述玻璃粉与氧化铝的重量组分比为:30~70:1~60。
5.根据权利要求1或3所述的覆铜陶瓷,其特征在于,所述改性颗粒还包括氧化亚铜和铜粉,所述玻璃粉、氧化亚铜和铜粉的重量组分比为:30~70:1~30:1~30。
6.根据权利要求1或3所述的覆铜陶瓷,其特征在于,所述改性颗粒还包括氧化锆和二氧化锰,所述玻璃粉、氧化锆和二氧化锰的重量组分比为:30~70:1~20:1~20。
7.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷,其特征在于,所述铜层的厚度为0.1mm~1mm。
8.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷,其特征在于,所述铜层与所述改性层接触的一面上形成有氧化亚铜膜,所述改性层部分渗入所述氧化亚铜膜中。
9.如权利要求1~8中任意一项所述覆铜陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下操作步骤:
在氮化铝陶瓷表面形成氧化铝膜;
在所述氧化铝膜表面形成改性层;其中,所述改性层中包括改性颗粒,所述改性颗粒包括玻璃粉;
在所述改性层表面形成铜层,通过热处理使铜层、改性层与氮化铝陶瓷结合一体。
10.根据权利要求9所述的覆铜陶瓷制备方法,其特征在于,通过热氧化工艺在所述氮化铝陶瓷的表面形成氧化铝膜。
11.根据权利要求10所述的覆铜陶瓷制备方法,其特征在于,所述热氧化工艺具体包括:将氮化铝陶瓷放置于氧分压为0.01atm~0.5atm的流动气氛中,以2℃/min~20℃/min的升温速率升温至800℃~1300℃,保温10min~300min,然后降温至室温。
12.根据权利要求9所述的覆铜陶瓷制备方法,其特征在于,在所述氧化铝膜表面形成改性层包括:
在氧化铝膜上覆盖包含有所述改性颗粒的改性浆料,烘烤使改性浆料干燥,在所述氧化铝膜表面形成改性层。
13.根据权利要求9所述的覆铜陶瓷制备方法,其特征在于,“在所述氧化铝膜表面形成改性层”包括:
在氧化铝膜上覆盖包含有所述改性颗粒的改性浆料,烘烤使改性浆料干燥;
将上述处理后的氮化铝陶瓷置于氧分压为0.001atm~0.5atm的流动气氛环境中,以2℃/min~20℃/min的升温速率升温至1000℃~1500℃,然后保温10min~300min,进而在所述氧化铝膜表面形成改性层。
14.根据权利要求12或13所述的覆铜陶瓷制备方法,其特征在于,所述改性浆料包括如下重量组分:改性颗粒40~60份,松油醇:40~60份,乙基纤维素:1~4份,邻苯二甲酸二丁酯:3~6份和流平剂:0.2~0.5份。
15.根据权利要求12或13所述的覆铜陶瓷制备方法,其特征在于,所述改性浆料通过丝网印制印刷于所述氮化铝陶瓷的氧化铝膜表面,改性浆料的印刷厚度为0.5μm~50μm。
16.根据权利要求9所述的覆铜陶瓷制备方法,其特征在于,在所述改性层表面形成铜层包括:
对铜片进行预氧化,在铜片与改性层接触的表面形成氧化亚铜膜;
将预氧化后的铜片覆盖在所述改性层上;
将经过上述处理后的氮化铝陶瓷置于氧分压为0~100ppm的保护气氛中,升温至1065℃~1083℃,然后保温10min~180min,以使铜层、改性层与氮化铝陶瓷结合一体。
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