[发明专利]显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201611048800.6 | 申请日: | 2016-11-23 |
公开(公告)号: | CN107039490B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 朴元熏;柳元相;赵大揆;宋永圭;申东菜;表胜恩 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;刘久亮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种显示装置,该显示装置包括:
基板,该基板包括具有多个子像素的显示区域以及在该显示区域周围的边框区域;
多个绝缘层,所述多个绝缘层顺序设置在所述基板的所述显示区域和所述边框区域上,其中,所述多个绝缘层包括第二缓冲层、栅极绝缘层、第一层间介质层和第二层间介质层;
至少一个通孔,所述至少一个通孔穿过所述边框区域中的所述多个绝缘层;
钝化层,该钝化层设置在所述第二层间介质层上,所述钝化层通过所述至少一个通孔与形成在所述多个绝缘层下方的第一缓冲层接触;以及
至少一个开口,所述至少一个开口穿过所述边框区域中的在所述多个绝缘层上的所述钝化层,
其中,所述至少一个通孔和所述至少一个开口各个都包围所述显示区域以形成相应的闭环,
其中,所述至少一个通孔被配置为抑制裂纹在所述边框区域中传播,
其中,所述至少一个通孔还被配置为阻止湿气渗透通过所述裂纹,并且
其中,所述至少一个开口被配置为阻止湿气沿着所述钝化层中的裂纹渗透。
2.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述至少一个开口与所述至少一个通孔分开并且设置在所述至少一个通孔外部。
3.根据权利要求1或2所述的显示装置,其中,所述至少一个开口与所述至少一个通孔从平面的角度来看平行地设置。
4.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述至少一个开口和所述至少一个通孔从平面的角度来看被交替地设置。
5.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述至少一个开口和所述至少一个通孔从平面的角度来看具有环形状。
6.一种用于制造显示装置的方法,该方法包括以下步骤:
在具有显示区域和边框区域的基板上顺序堆叠多个绝缘层,
其中,堆叠所述多个绝缘层的步骤包括以下步骤:
在所述基板上形成第一缓冲层;
在所述第一缓冲层上形成第二缓冲层;
在位于所述第二缓冲层上的半导体层上形成栅极绝缘层;
在位于所述栅极绝缘层上的第一栅极上形成第一层间介质层;以及
在位于所述第一层间介质层上的第二栅极上形成第二层间介质层;以及
形成被配置为抑制裂纹在所述边框区域中传播的至少一个通孔,以穿过所述边框区域中的所述多个绝缘层,
其中,形成所述至少一个通孔的步骤包括以下步骤:
对所述第二缓冲层、所述栅极绝缘层、所述第一层间介质层和所述第二层间介质层进行蚀刻,以形成使所述边框区域中的所述第一缓冲层暴露的所述至少一个通孔;
利用钝化层来覆盖所述多个绝缘层,所述钝化层通过所述至少一个通孔与所述第一缓冲层接触;以及
对所述钝化层进行蚀刻以在所述钝化层中形成所述至少一个开口,
其中,所述至少一个通孔和所述至少一个开口各个都被形成为包围所述显示区域的相应的闭环,并且
其中,所述至少一个通孔还被配置为阻止湿气渗透通过所述裂纹。
7.根据权利要求6所述的方法,该方法还包括以下步骤:
对所述显示区域中的所述第二缓冲层、所述栅极绝缘层、所述第一层间介质层和所述第二层间介质层进行蚀刻,以形成使所述半导体层和所述第二栅极暴露的接触孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的