[发明专利]一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法

权利要求书

1.一种用于纳米材料实验的真空互联系统，其特征在于，包括：材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台；

其中，所述材料生长平台和器件工艺平台用于材料或器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接；

其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述管道设备通过所述中续设备进行连接；所述传输设备驱动所述管道设备中的物体移动；所述真空获得设备和所述管道设备连接，用于向所述管道设备提供真空环境；所述输入输出设备设置在所述互联平台与其他平台的连接处，用于材料在所述互联平台和其他平台之间的输入输出；所述控制设备与所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备连接，用于对所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备进行运行控制；

所述中续设备包括开关闭合装置、腔体和控制装置；所述管道设备包括材料输入输出管道、真空过渡调节管道、材料传输管道和存储功能管道；所述腔体包括具有至少两个接口的中转过渡腔体和交接互通腔体；所述材料输入输出管道、真空过渡调节管道以及材料传输管道依次通过开关闭合装置连接，所述存储功能管道通过开关闭合装置连接所述材料传输管道的侧壁，相邻的所述材料传输管道之间通过所述中转过渡腔体或所述交接互通腔体连接，所述控制装置与所述开关闭合装置连接，所述控制装置用于控制所述开关闭合装置的打开或关闭。

2.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，所述传输设备包括传输带动装置、传输轨道、非接触驱动装置和装载卸载装置；

所述传输设备设置在所述管道设备中具体为：

所述传输带动装置和非接触驱动装置设置在所述管道设备的外围，所述传输轨道和所述装载卸载装置设置在所述管道设备内部，所述装载卸载装置放置在所述传输轨道上；所述非接触驱动装置用于驱动所述传输带动装置移动或所述装载卸载装置移动。

3.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，所述真空获得设备包括高真空获得设备和超高真空获得设备；

所述真空获得设备和所述管道设备连接具体为：

所述材料输入输出管道、所述真空过渡调节管道和所述材料传输管道与所述高真空获得设备连接，所述真空过渡调节管道与所述超高真空获得设备连接。

4.根据权利要求3所述的真空互联系统，其特征在于，所述中转过渡腔体与机械真空获得设备连接。

5.根据权利要求3所述的真空互联系统，其特征在于，所述交接互通腔体与机械真空获得设备连接。

6.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，所述互联平台包括多个输入输出设备；所述多个输入输出设备均包括材料取放装置和至少两个接口的转接装置；

所述输入输出设备设置在所述互联平台与各个平台的连接处具体为：

所述转接装置的其中一个接口与所述互联平台连接，所述转接装置的其中另一个接口与所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台的输入输出接口连接，所述材料取放装置设置在所述转接装置上，用于将材料在所述互联平台和所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台之间进行取放。

7.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，还包括接口设备，所述接口设备设置在所述输入输出设备与所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台的连接处。

8.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，所述交接互通腔体内设置有自动化装载卸载机器人。

9.一种用于纳米材料实验的真空互联方法，其特征在于，应用于权利要求1-8任意一项所述的真空互联系统，所述真空互联系统具有多个输入输出设备；

所述真空互联方法包括：

利用所述互联平台中的所述输入输出设备，将所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台中的材料放入所述互联平台中的所述传输设备上；

运行所述中续设备和所述真空获得设备调节所述互联平台中的各个设备的真空度，直至所述互联平台中各个设备的真空度一致；

开启所述控制设备，通过所述控制设备驱动载有材料的所述传输设备在所述管道设备中移动，使所述传输设备从一个输入输出设备移动到另一个输入输出设备；

利用所述另一个输入输出设备，将所述材料从所述传输设备上取出，放入与所述另一个输入输出设备连接的所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台中，完成材料在所述材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台中的移动传输。