[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，对包含示出强磁性的物质而形成的被加工物进行加工，其特征在于，

该加工装置具有：

卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；

加工构件，其对由该卡盘工作台保持的被加工物进行加工；以及

搬送构件，其将被加工物搬入到该卡盘工作台上或将被加工物从该卡盘工作台搬出，

该卡盘工作台具有：第1磁力保持部，其设置于该保持面侧并且利用磁力对被加工物进行保持；以及吸引路，其开口，以对粘贴在被加工物上的粘合带的外缘部进行吸引、保持，

该搬送构件具有：第2磁力保持部，其利用磁力对被加工物进行保持；以及吸引保持部，其对固定在粘合带的外缘部的支承部件进行吸引、保持，

在将该吸引保持部与吸引源连接的吸引路中设置有压力传感器。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该第1磁力保持部和该第2磁力保持部中的一方使用电磁铁，该第1磁力保持部和该第2磁力保持部中的另一方使用永久磁铁。