[发明专利]基板拉伸装置、成膜装置以及膜和有机电子器件的制造方法

说明书

本发明提供基板拉伸装置、成膜装置以及膜和有机电子器件的制造方法，能够发挥与基板的松弛情况相对应的基板拉伸力，难以产生基板的松弛，能够使掩膜和基板良好重合，实现高精度的成膜。一种基板拉伸装置，其具备互相对置的一对夹紧机构，其中，所述夹紧机构具备多个从上下夹住基板的把持部，对应于每个所述把持部分别具备驱动构件，所述驱动构件将用于把持所述基板的按压力和用于将所述基板向外侧拉伸的拉伸力传递至所述把持部。

技术领域

本发明涉及通过拉伸基板来防止基板的松弛的基板拉伸装置。

背景技术

基板的自重随着基板的大型化而不断增加，因此，在水平地保持大型的基板时，存在如下情况：由于基板的自重而导致基板向下方挠曲，从而在基板上产生松弛。例如在专利文献1中记载了这样的装置：通过对基板的对置的端部互相拉伸，来防止基板发生松弛。

专利文献1：韩国注册专利第10-1456671号公报

专利文献1记载的基板夹紧机构构成为：使用结合有多个细分化的基板支承片的板，经由该板将基板向两侧拉伸驱动。

但是，根据所支承的基板的材质、形状、面积等，基板的松弛程度不同。在专利文献1的各种结构中，根据所支承的基板不同，在各个支承片间夹压基板的力会产生偏颇，或者在夹压力较弱的支承片之间基板会发生打滑，从而在拉伸基板时会导致板的长度方向上的基板拉伸力产生偏颇。因此，存在如下的担忧：无法消除基板的松弛，或者相反地助长基板的松弛。

如果基板的松弛较大，则不但无法实现均匀的成膜，而且在使用掩膜在基板上形成薄膜的情况下，还会成为成膜图案出现大的偏差的原因。

另外，由于是对结合有所有的支承片的板进行拉伸驱动的结构，因此，如果为了消除在夹压力较弱的支承片处的基板打滑而增强夹压力，则根据位置不同，夹压力可能变得过强而导致基板破损。而且，由于需要拉伸力较大的驱动装置，因此，会导致基板拉伸所需要的能耗增加或者拉伸装置大型化。

发明内容

本发明是鉴于上述的现状而完成的，本发明的基板拉伸装置具备互相对置的一对夹紧机构，其特征在于，所述夹紧机构具备多个从上下夹住基板的把持部，对应于每个所述把持部分别具备驱动构件，所述驱动构件将用于把持所述基板的按压力和用于将所述基板向外侧拉伸的拉伸力传递至所述把持部。

根据本发明的基板拉伸装置，能够发挥出与基板的松弛情况相对应的基板按压力和基板拉伸力，能够将对置的基板的边部之间均等地拉伸，从而能够有效降低基板的松弛。并且，如果将本发明的基板拉伸装置应用于成膜装置，则在基板上不容易产生松弛，能够实现均匀的覆膜的形成、或使用了掩膜的高精度的成膜。

附图说明

图1是本实施例的概要说明立体图。

图2是本实施例的重要部位的放大说明立体图。

图3是本实施例的重要部位的放大说明立体图。

图4是本实施例的夹紧机构的动作说明图。

图5是本实施例的夹紧机构的动作说明图。

图6是本实施例的夹紧机构的动作说明图。

图7是蒸镀装置的概要说明主视图。

图8的(a)是使用本发明的真空蒸镀装置制作出的有机EL显示装置的立体图，(b)是沿(a)中的A-B线的剖视图。

标号说明

1：基板。

2：边部。

3、4：把持片。

具体实施方式

基于图1示出本发明的作用，并对本发明的优选的实施方式简单进行说明。