[发明专利]基板拉伸装置、成膜装置以及膜和有机电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种基板拉伸装置，其具备互相对置的一对夹紧机构，

其特征在于，

所述夹紧机构具备：

第一夹紧机构，其具备从上下夹住基板的第一边部的多个把持部；以及

第二夹紧机构，其具备从上下夹住基板的与所述第一边部对置的第二边部的多个把持部，

并且对应于包含在所述第一夹紧机构中的多个把持部和包含在所述第二夹紧机构中的多个把持部中的每个所述把持部分别具备驱动构件，所述驱动构件将用于从上下按压所述基板的按压力和用于将所述基板向外侧拉伸的拉伸力传递至所述把持部，

包含在所述第一夹紧机构中的多个把持部和包含在所述第二夹紧机构中的多个把持部能够对应于每个把持部调整从上下按压所述基板的按压力和用于将所述基板向外侧拉伸的拉伸力，

配置在所述第一边部的中央区域中的把持部的拉伸力比配置在所述第一边部的端部区域中的把持部的拉伸力强，

配置在所述第二边部的中央区域中的把持部的拉伸力比配置在所述第二边部的端部区域中的把持部的拉伸力强。

2.根据权利要求1所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述第一夹紧机构和所述第二夹紧机构的所述把持部具备一对把持片，所述驱动构件构成为利用这一对把持片从上下按压所述基板并将所把持的基板向外侧拉伸。

3.根据权利要求1所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述第一夹紧机构和所述第二夹紧机构具备单独调整构件，所述单独调整构件能够将对应于每个所述把持部而分别具备的驱动构件各自的按压力或拉伸力或者它们双方对应于每个驱动构件单独地进行调整。

4.根据权利要求1所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述第一夹紧机构和所述第二夹紧机构具备单独控制构件，所述单独控制构件能够将对应于每个所述把持部而分别具备的驱动构件各自的按压力或拉伸力或者它们双方对应于每个驱动构件单独地进行控制。

5.根据权利要求3所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述第一夹紧机构和所述第二夹紧机构具备单独控制构件，所述单独控制构件能够将对应于每个所述把持部而分别具备的驱动构件各自的按压力或拉伸力或者它们双方对应于每个驱动构件单独地进行控制。

6.根据权利要求4所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述夹紧机构具备联合控制构件，所述联合控制构件能够将对应于每个所述把持部而分别具备的驱动构件的所述单独控制构件彼此联合起来进行控制。

7.根据权利要求5所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述单独调整构件构成为，对应于在所把持的基板的第一边部或第二边部产生的松弛的程度，单独地调整对应于每个所述把持部而分别具备的驱动构件各自的按压力或拉伸力或者它们双方，

所述单独控制构件构成为，对应于在所把持的基板的第一边部或第二边部产生的松弛的程度，单独地控制对应于每个所述把持部而分别具备的驱动构件各自的按压力或拉伸力或者它们双方。

8.根据权利要求5所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述单独调整构件构成为，单独地调整每个所述把持部的驱动构件，以使所把持的基板的第一边部和第二边部的中央区域中的按压力或拉伸力或者它们双方比在所把持的基板的第一边部和第二边部的端部区域中的高，

所述单独控制构件构成为，单独地控制每个所述把持部的驱动构件，以使所把持的基板的第一边部和第二边部的中央区域中的按压力或拉伸力或者它们双方比在所把持的基板的第一边部和第二边部的端部区域中的高。

9.根据权利要求5所述的基板拉伸装置，其特征在于，

所述单独调整构件构成为，关于对应于每个所述把持部而分别具备的各个驱动构件，单独地调整利用各个驱动构件的拉伸力拉伸基板的时机，

所述单独控制构件构成为，关于对应于每个所述把持部而分别具备的各个驱动构件，单独地控制利用各个驱动构件的拉伸力拉伸基板的时机。