[发明专利]用于光刻的罩面层组合物和方法有效
| 申请号： | 201610851432.2 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN106556972B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 洪昌英;E-H·柳;M-K·张;D-Y·金 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 面层 组合 方法 | ||
【说明书】：
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