[发明专利]上胶设备及形成胶材的方法有效
申请号: | 201610835559.5 | 申请日: | 2016-09-21 |
公开(公告)号: | CN107818924B | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 陈信龙;叶孟宏;陈培领;江连成;朱育德 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 设备 形成 方法 | ||
一种上胶设备及形成胶材的方法,该上胶设备包括:机台本体、设于该机台本体上的供胶装置以及清理装置,以通过该清理装置与该供胶装置设于同一机台本体上,以节省制造方法时间,而能降低电子产品的制作成本。
技术领域
本发明有关一种形成胶材的制造方法,尤指一种上胶设备及形成胶材的方法。
背景技术
随着半导体封装技术的演进,半导体装置(Semiconductor device)已开发出不同的封装型态,其中,球栅阵列式(Ball grid array,简称BGA),例如PBGA、EBGA、FCBGA等,为一种先进的半导体封装技术,其特点在于采用一封装基板来安置半导体晶片,并于该封装基板背面植置多数个成栅状阵列排列的焊球(Solder ball),并藉该些焊球将整个封装单元焊结并电性连接至外部电子装置,使相同单位面积的承载件上可容纳更多输入/输出连接端(I/O connection)以符合高度集积化(Integration)的半导体晶片的需求。
如图1所示,现有覆晶制造方法为先将一如半导体晶片的电子元件11通过多个如焊锡凸块的导电元件12设于一如封装基板的承载件10上,再回焊(reflow)该些导电元件12,之后进行点胶步骤,即利用一点胶器13将如底胶的胶材14填入该电子元件11与该承载件10之间以包覆该些导电元件12,藉以避免该些导电元件12遭受污损及损毁。
若该电子元件11与该承载件10上欲填充该胶材14之处产生有脏污,则于该胶材14固化后,该脏污很容易于该胶材14中产生气泡(void),致使当经过回焊炉等制造方法时,会产生气爆等问题,因此,一般会于点胶步骤之前,先清洁该电子元件11与该承载件10。
现有清洗方法先将设有该电子元件11的承载件10置入一盒体中,再以清洗剂与去离子水等进行清洁,待清洗完毕后,再将设有该电子元件11的承载件10移到一点胶机台上,以该点胶器13进行点胶。
然而,现有清洗方法需先于一清洗机台位置(如前述盒体)进行清洗,之后才移到点胶机台上进行点胶步骤,致使制造方法太过繁杂而增加制造方法时间(清洗机台位置移至该点胶机台的输送时间),且还需准备输送、固定与夹持治具等,导致成本增加。另外,运送过程中,还可能造成该电子元件11或该承载件10的损伤。
此外,依据产品微小化的趋势与需求,该导电元件12的高度越来越低,而各该导电元件12之间的间距(pitch)也越来越窄,致使现有清洗方法并不易于清洁。
因此,如何克服现有技术中的问题,实已成目前亟欲解决的课题。
发明内容
鉴于上述现有技术的缺失,本发明揭露一种上胶设备及形成胶材的方法,以节省制造方法时间,而能降低电子产品的制作成本。
本发明的上胶设备包括:机台本体;清理装置,其设于该机台本体上,用以清洁物件的表面;以及供胶装置,其设于该机台本体上,用以形成胶材于该物件上。
本发明还揭露一种形成胶材的方法,包括:提供一前述的上胶设备;通过该清理装置清洁物件的表面;以及通过该供胶装置将胶材形成于该物件上。
前述的上胶设备及形成胶材的方法中,该清理装置为高压流体清理装置或电浆清理装置(如大气电浆式清理装置)。
前述的上胶设备及形成胶材的方法中,还包括控制装置,其电性连接该机台本体。
前述的上胶设备及形成胶材的方法中,还包括设于该机台本体上的置放区,用以置放形成胶材后的物件。
前述的上胶设备及形成胶材的方法中,该清理装置包含有喷嘴、移转模组、以及检测模组;该供胶装置包含有填胶器、移转模组、储存模组、以及挤压模组。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造