[发明专利]柔性薄膜立式真空镀膜生产线

权利要求书

1.柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：

依次包括将金属钼(Mo)溅射到薄膜上的Mo子线；采用铜、铟、镓的线性蒸发源在硒环境中沉积形成CIGS电池吸收层的环形蒸发子线；采用脉冲直流将ZnO旋转陶瓷靶溅射到CIGS层上作为缓冲层的ZnO子线；以及将ZnO:Al(AZO)溅射在缓冲层上的AZO子线，环性蒸发子线上设有平推式蒸发门，线性蒸发门上设有组合线性蒸发源；

其中各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜，每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内，张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内；其中：

张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的，张力检测辊用于实时监测薄膜张力，张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度，张力调节辊为非传动辊，薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：Mo子线沿薄膜的展开方向依次包括放卷室、第一溅射室、过渡室、第二溅射室及收卷室。

3.根据权利要求1所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：环形CIGS子线沿柔性薄膜基材的展开方向依次包括放卷室、预热室、过渡室、蒸镀室、冷却室及收卷室，其中蒸镀室与过渡室交替设置，蒸镀室的两侧均设有过渡室。

4.根据权利要求1所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：ZnO子线沿薄膜的展开方向依次包括放卷室、第一溅射室、过渡室、第二溅射室及收卷室。

5.根据权利要求1所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：AZO子线沿柔性薄膜基材的展开方向依次包括放卷室、溅射室及收卷室。

6.根据权利要求1所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：张力调节辊与薄膜的接触面积大于等于张力检测辊及传动辊与薄膜的接触面积。

7.根据权利要求1所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：薄膜展开时，薄膜依次经过张力检测辊及相邻的张力调节辊。

8.根据权利要求1所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：辊轴沿垂直方向的末端设有万向轴承。

9.根据权利要求2所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：第一溅射室及第二溅射室内各设有至少一个单旋转阴极。

10.根据权利要求3所述的柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：蒸镀室内设有组合线性蒸发源。