[发明专利]一种透明导电电极的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610785561.6 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN107749318B 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 陈初群 申请(专利权)人: 苏州绘格光电科技有限公司
主分类号: H01B1/02 分类号: H01B1/02;H01B1/04;H01B5/02;H01B5/14;H01B13/00
代理公司: 常州智慧腾达专利代理事务所(普通合伙) 32328 代理人: 曹军
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 透明 导电 电极 制备 方法
【说明书】:

本发明公开了一种透明导电电极的制备方法,包括:1)制备透明导电材料:在透明基材表面形成导电层;2)对导电层进行电击处理:利用电击组件中电极对透明导电材料的导电层进行电击处理,形成图案化的导电层;3)获得透明导电电极:对图案化后的导电层进行清洁处理,即得透明导电电极。本发明通过电击方法对导电层进行处理,使电击处理的导电材料转化为非(连续)导电材料,从而得到图案化的电极,并且导电区域和非导电区域光学性能差异极低,实现完全消影蚀刻,在实际应用中效果显著,且制备流程简单,制备成本低。

技术领域

本发明涉及透明导电电极领域,特别是一种透明导电电极的制备方法。

背景技术

目前,透明电极的材料主要包括透明导电氧化物薄膜、碳纳米管、石墨烯、导电聚合物、金属网格、金属纳米线等。ITO透明电极凭借其高透明度和高导电性占有了大部分的市场份额。但ITO电极需要使用真空气相沉积的方法制备,且含有稀有元素铟,因而成本较高,且ITO具有脆性,无法在柔性器件中使用。因而人们开始寻找其他透明电极材料,金属纳米线由于其较低的成本、较高的性能、对柔性器件的良好适应性而倍受青睐。较厚的金属膜虽然不透明,但若将其进行网格状图案化使之成为金属网格,则将成为能与金属纳米线想媲美的透明导电电极。并且金属导电材料配合石墨烯、碳纳米管、导电高分子、金属氧化物半导体材料都可以得到更好的适用性。

在液晶显示、OLED(有机电致发光)、触摸屏、太阳能电池等领域的实际应用中,常常需要图案化的透明导电电极来完成各种功能。对于现有的透明导电材料,现有技术已有多种图案化方法,包括激光烧蚀,黄光工艺的化学刻蚀方法,丝印蚀刻膏的化学蚀刻,喷墨印刷蚀刻液等方法。以上方法都会导致蚀刻区和非蚀刻区存在较大光学性能差异,而且有对环境有较大污染,制备流程复杂,制备成本较高的缺点。

申请号为CN 104285312A,发明名称为“外敷纳米线透明导电涂层的电晕图案化”的中国专利提供了两种纳米银线导电材料图案化电晕处理的方法,一种方法是使用压敏胶紧贴在导电层表面以阻挡银线被电晕处理。使用该方法,会出现如下问题:首先,当压敏胶带未紧贴在导电层表面时,气泡区没有屏蔽效果;其次,压敏胶带在使用后很难重复使用,成本高昂;最后,压敏胶带由于开口位置有限制,使图案化电极的设计受到限制。另外一种方法是使用图案化凹陷的钢辊实现电晕的图案化,使用该方法,同样会出现紧贴不充分的情况下,导电区受损害的问题。总而言之,上述两种方法都有过度处理或处理不足的问题。

发明内容

为了克服现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种制备流程简单、制备成本低、光学性能好的透明导电电极的制备方法。

为解决上述问题,本发明所采用的技术方案如下:

一种制备透明导电电极的制备方法,包括:

1)制备透明导电材料:在透明基材表面形成导电层;

2)对导电层进行电击处理:利用电击组件中电极对透明导电材料的导电层进行电击处理,经电击处理后的导电材料转化为非连续导电区域,从而形成图案化的导电层;

3)获得透明导电电极:对图案化后的导电层进行清洁处理,即得透明导电电极。

优选的,所述步骤2)中电击处理是在气体或气流中进行的;所述气体为惰性气体、氮气、二氧化碳、氧气、空气中一种或多种的混和气体或其等离子气体。

优选的,所述透明基材为玻璃、高分子透明薄膜或高分子片材,所述导电层为一维纳米导电材料、二维纳米导电材料、金属网格透明导电材料、透明导电高分子材料和金属氧化物系透明导电材料中一种或几种。

优选的,所述一维纳米导电材料为金属纳米线透明导电材料、碳纳米管透明导电材料、纳米金属带透明导电材料和纳米金属棒透明导电材料。

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