[发明专利]一种扩散硅片周转盒在审
申请号: | 201610467681.1 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN107546159A | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 周银峰 | 申请(专利权)人: | 周银峰 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙)51239 | 代理人: | 刘华平 |
地址: | 610000 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 硅片 周转 | ||
技术领域
本发明涉及一种周转盒,特别涉及一种扩散硅片周转盒。
背景技术
太阳能电池片的扩散工序中包括净化工序,净化工序对环境洁净度有着严格的要求。现有技术中,太阳能电池片扩散工序中,等待进行扩散工序的硅片一般放置于一种扩散周转箱中,而扩散周转箱一般直接放置于车间的地面;传统的扩散硅片周转盒采用尼龙或者PVC 材料粘合而成,而且均为全封闭的结构,重量大,不利于灰尘、扩散硅片的碎片以及酸洗或碱洗溶液的排除,另外此种结构的周转盒破损后很难再修复,材料浪费较大,使用成本也比较高。
发明内容
本发明的目的就在于提供一种结构简单,成本较低,便于清理灰尘和碎片以及排除酸碱溶液的扩散硅片周转盒。
为了实现上述目的,本发明采用的技术方案是这样的:本发明的扩散硅片周转盒,包括由四个侧面组成的盒体,还包括托盘和放置架,所述盒体设置在托盘上,托盘底部设置有滚轮,盒体外壁上设置有吊环,所述放置架设置在盒体内,放置架上设置有防护层,放置架上设置有通孔。
作为优选,所述放置架设置在盒体内中下部。
作为优选,所述托盘的上表面设置有石英层。
与现有技术相比,本发明的优点在于:本发明设置托盘,方便清理与维护,同时可以方便扩散硅片碎片的清理,以及在扩散硅片蚀刻过程中,酸洗、碱洗液的排放;托盘上设置石英层,避免酸碱容易对托盘腐蚀,延长其使用寿命;设置吊环,便于搬运,设置滚轮,便于移动。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
参见图1,本发明的扩散硅片周转盒,包括由四个侧面组成的盒体1,还包括托盘2和放置架3,所述盒体1设置在托盘2上,托盘2底部设置有滚轮6,盒体1外壁上设置有吊环7,所述放置架3设置在盒体1内,放置架3上设置有防护层4,放置架3上设置有通孔5,所述放置架3设置在盒体1内中下部,所述托盘2的上表面设置有石英层。
本发明设置托盘2,方便清理与维护,同时可以方便扩散硅片碎片的清理,以及在扩散硅片蚀刻过程中,酸洗、碱洗液的排放;托盘2上设置石英层,避免酸碱容易对托盘腐蚀,延长其使用寿命;设置吊环7,便于搬运,设置滚轮6,便于移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造