[发明专利]基于外延层的纳米线器件及其制造方法及包括其的电子设备有效
| 申请号： | 201610467229.5 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105932057B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 朱慧珑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L29/775 | 分类号： | H01L29/775;H01L29/06;H01L27/092;H01L21/335;H01L21/8238 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 外延 纳米 器件 及其 制造 方法 包括 电子设备 | ||
【说明书】：
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