[发明专利]一种铜表面缓蚀组装膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201610128527.1 申请日: 2016-03-07
公开(公告)号: CN105714279A 公开(公告)日: 2016-06-29
发明(设计)人: 张大全;于印哲;李瑾;高立新 申请(专利权)人: 上海电力学院
主分类号: C23C22/02 分类号: C23C22/02
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 吴宝根
地址: 200090 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 表面 组装 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种铜表面缓蚀组装膜的制备方法,其特征在于包括下列步骤:

1)将铜片经1#~6#号金相砂纸逐级打磨抛光,然后采用无水乙醇除油,再用去离子水洗净,备用;

2)将冲洗的铜片依次浸入2-甲基-3-丁炔-2-醇组装液和对甲苯磺酰叠氮组装液中,所述的两种组装溶液的组装溶剂均为乙醇,所述的2-甲基-3-丁炔-2-醇组装液的浓度为0.2~1.5mM;所述的对甲苯磺酰叠氮组装液的浓度为0.2~1.5mM;将铜在2-甲基-3-丁炔-2-醇的乙醇溶液中组装0.5~2h,然后在对甲苯磺酰叠氮的乙醇溶液中组装0.1~1h;

3)组装结束后,采用水冲洗、然后干燥,即得铜表面缓蚀组装膜。

2.如权利要求1所述的一种铜表面缓蚀组装膜的制备方法,其特征在于:所述的对甲苯磺酰叠氮的浓度为1.0mM。

3.如权利要求1所述的一种铜表面缓蚀组装膜的制备方法,其特征在于:所述的2-甲基-3-丁炔-2-醇的浓度为1.0mM。

4.如权利要求1所述的一种铜表面缓蚀组装膜的制备方法,其特征在于:将铜在2-甲基-3-丁炔-2-醇的乙醇溶液中组装1h,然后在对甲苯磺酰叠氮的乙醇溶液中组装30min,水冲洗、干燥,即铜表面缓蚀组装膜。

5.如权利要求1所述的一种铜表面缓蚀组装膜的制备方法,其特征在于:所述铜片为纯铜、白铜、黄铜、或者青铜。

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