[发明专利]改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种薄膜晶体管电路结构及方法，尤指一种在光阻不均的问题上有显著改善功效的薄膜晶体管电路结构及方法。

背景技术

旋转涂布法(Spin Coating)是集成电路及薄膜液晶显示器制程所普遍使用的方法，其利用快速旋转产生离心力的方式将涂液抛出而向基板的外围方向扩散，可以制作高均匀性的微米级薄膜。影响旋转涂布质量的因素相当多，例如涂液的流变性及表面张力，以及操作时的加速度、最终定速、气流排放模式等影响离心力、挥发速率、干燥速率等参数。而基板上已存在的结构，也会对旋转涂布的质量产生关键性的影响。

以制作液晶显示器的薄膜晶体管电路结构而言，玻璃基板上于设置主动式薄膜晶体管电路后，为了使画素开口率提升，会使用有机光阻铺设在钝化层及画素电极间，藉此降低寄生电容，或是为了做出反射式的凸块会将钝化层上方的有机光阻加以图形化。但由于有机光阻是一种黏滞性高的液体，因此在旋转涂布的过程中，玻璃基板表面上既有的不平坦结构会对旋转涂布的效果造成严重影响，例如交错布置的电路线会形成有机光阻行进的阻碍物；也就是说，在玻璃基板快速转动的同时，有机光阻会因为结构表面的不平坦而在各个方向上受到不同程度的阻挡，使有机光阻扩散的结果不均匀，严重降低旋转涂布后所形成有机层的结构质量，为光阻不均(resist mura)。

针对上述问题，一种解决方式为使用狭缝式涂布(Slit Coating)设备。狭缝式涂布制程技术为精密涂布领域的重要技术之一，是广泛应用于电子、生医、包装、影像相关薄膜产品的制造，其优点为涂液可完成密封、可预先设定涂膜厚度，以及涂膜均匀度高。然而其成本也较为昂贵，需要使用到特殊的机台，因此若能发展其它技术来克服有机光阻涂布不均匀的问题，则可实现兼顾成本与效果的技术突破目的。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法，其于制作薄膜晶体管时，对覆盖于电路结构上的层面进行平坦化处理，以消除因覆盖有电路结构而导致层面有反应出电路结构本身厚度的不均匀问题，进而排除后续涂布有机光阻时，有机光阻因为不均匀结构而产生的光阻不均问题。

本发明的另一目的，在于提供一种改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法，其使薄膜晶体管的绝缘层或钝化层得呈现具有至少一平坦层的结构特征。

因此，本发明揭示了一种改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法，其用于具有复数个第一电路线的一基板，并于操作方法包含步骤：设置一绝缘层于该基板上，并覆盖该些第一电路线；设置图案化的一第一光阻层于该绝缘层上，且该第一光阻层的图案与该些第一电路线平行；移除部分的该绝缘层以及该第一光阻层，形成一第一平坦层；设置复数个第二电路线于该绝缘层之上，该些第一电路线以及该些第二电路线于空间的垂直方向上交错排列；设置一钝化层于该些第二电路线之上；设置图案化的一第二光阻层于该钝化层上，且该第二光阻层的图案与该些第二电路线平行；以及移除部分的该钝化层以及该第二光阻层，形成一第二平坦层。

据上述步骤，本发明所揭示的改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构包含：一基板；复数个第一电路线，设置于该基板之上；一绝缘层，设置于该基板之上，并覆盖该些第一电路线；一第二电路线，设置于该绝缘层之上；以及一钝化层，设置于该绝缘层之上，并覆盖该些第二电路线；其中，该绝缘层包含一第一平坦层，该钝化层包含一第二平坦层。

附图说明

图1A：其为本发明一较佳实施例的薄膜晶体管的部分结构示意图，用以表示基板及第一电路线；

图1B：其为本发明一较佳实施例的薄膜晶体管的部分结构分解示意图，用以表示绝缘层、第二电路线、钝化层以及有机层；

图2A～2D：其为本发明一较佳实施例于制备薄膜晶体管的部分流程示意图，用以表示第一平坦层的形成；

图3A～3E：其为本发明一较佳实施例于制备薄膜晶体管的另一部分流程示意图，用以表示第二平坦层的形成；

图4：其为本发明一较佳实施例的薄膜晶体管的部分结构示意图，用以表示于第一电路线以及第二电路线于交错方向的位置，绝缘层以及钝化层不作移除；以及

图5：其为本发明一较佳实施例的薄膜晶体管的部分结构示意图，用以表示钝化层于电路线重迭处有些微凸起，而其它非电路线重迭处则为第二平坦层。

【图号对照说明】

1 基板

21第一电路线

22第二电路线

3 绝缘层

30第一平坦层

4 钝化层