[发明专利]一种微纳PSS制备用软膜结构在审
| 申请号： | 201610103729.0 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN105609607A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 张伟;孙智江 | 申请（专利权）人： | 海迪科(南通)光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L33/46 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pss 制备 膜结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种微纳PSS制备用软膜结构，其特征在于：
所述软膜结构包括一软膜主体，该软膜主体呈长方体状，在软膜主体的长轴方向的一侧设置有梳齿组；
所述梳齿组由若干并列等距分布的梳齿共同构成，在相邻的两个梳齿所形成的凹槽的内壁上还设置有高反射金属层，且高反射金属层覆盖住相邻两个梳齿所形成的凹槽。
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