[发明专利]日盲紫外光探测器单元及阵列有效
申请号: | 201610041786.0 | 申请日: | 2016-01-22 |
公开(公告)号: | CN106997913B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 吕惠宾;郭海中;葛琛;金奎娟;杨国桢 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | H01L31/09 | 分类号: | H01L31/09;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;张磊 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 紫外光 探测器 单元 阵列 | ||
1.一种日盲紫外光探测器单元,其特征在于,包括:
氧化物基片,所述氧化物基片的禁带宽度大于4.4电子伏特;
设在所述氧化物基片的表面上的第一电极和第二电极,所述第二电极具有用于接收探测光的通孔,所述第一电极和第二电极分别设置在所述氧化物基片的相对两侧,所述第一电极和第二电极连接至直流电源的两极,所述氧化物基片吸收探测光产生电子-空穴对,所述直流电源在所述第一电极和第二电极之间施加的电场使得所述电子-空穴对分离形成回路电流。
2.根据权利要求1所述的日盲紫外光探测器单元,其特征在于,所述第一电极和第二电极的中心轴在同一直线上,且垂直所述氧化物基片的表面。
3.根据权利要求1-2中任一项所述的日盲紫外光探测器单元,其特征在于,所述第二电极的通孔是圆孔或多边形孔。
4.根据权利要求3所述的日盲紫外光探测器单元,其特征在于,所述第一电极是圆形或多边形。
5.根据权利要求1所述的日盲紫外光探测器单元,其特征在于,所述氧化物基片的禁带宽度大于5.6电子伏特。
6.根据权利要求5所述的日盲紫外光探测器单元,其特征在于,所述氧化物基片的材料为LaAlO3、ZrO2或MgO。
7.根据权利要求1所述的日盲紫外光探测器单元,其特征在于,所述第一电极或第二电极的材料为金、铂、银、铝、铜、石墨、铟锡氧化物、钌酸锶或合金。
8.一种日盲紫外光探测器阵列,其特征在于,包括:
多个如权利要求1至7中任一项所述的日盲紫外光探测器单元;
其中,所述多个日盲紫外光探测器单元排列成一个阵列。
9.根据权利要求8所述的日盲紫外光探测器阵列,其特征在于,所述多个日盲紫外光探测器单元的第二电极电连接形成网状结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的