[发明专利]用于制造柔性基板的方法、柔性基板和显示装置有效
申请号: | 201610038781.2 | 申请日: | 2016-01-20 |
公开(公告)号: | CN105552225B | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 谢明哲;刘陆;谢春燕;王和金;郭远征 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴敬莲 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 柔性 方法 显示装置 | ||
本发明公开了一种用于制造柔性基板的方法、使用该方法制成的柔性基板和包括所述柔性基板的显示装置。所述方法包括步骤:在玻璃载体上涂布多层膜层,其中所述多层膜层中的至少一对相邻膜层中的每一对相邻膜层以如下方式形成:涂布第一膜层,和在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层,其中所述第二膜层的面积大于所述第一膜层的面积;和将所形成的膜层结构从所述玻璃载体上剥离,形成柔性基板。
技术领域
本发明涉及柔性基板领域,尤其涉及一种用于制造柔性基板的方法、通过该方法制成的柔性基板和包括该柔性基板的显示装置。
背景技术
与传统的硬质基板相比,能够弯曲的柔性基板以其重量轻、厚度薄、柔软等优点被越来越广泛地应用于薄膜印刷电路板、可弯曲显示面板等领域中。在柔性基板的制造技术中,通常是在玻璃载体上多次涂布聚酰亚胺或聚醚醚酮等材料而形成多层膜层,并且将所形成的多层膜层剥离,从而形成最终的柔性基板。然而,如图1所示,在涂布膜层的过程中,在涂膜的周围会有突起的膜厚不稳定区,而且这个膜厚不稳定区随着膜厚的增高而变大,随着膜层的增多而变高。
发明内容
为了克服或者至少缓解上述缺点,本发明提供一种新颖的用于制造柔性基板的方法。具体地,根据本发明的一方面,提供一种用于制造柔性基板的方法,包括步骤:在玻璃载体上涂布多层膜层,其中所述多层膜层中的至少一对相邻膜层中的每一对相邻膜层以如下方式形成:涂布第一膜层;在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层,其中所述第二膜层的面积大于所述第一膜层的面积;和将所形成的多层膜层结构从所述玻璃载体上剥离,形成柔性基板。
在根据本发明的用于制造柔性基板的方法中,虽然在第一次涂布中在第一膜层的边缘处形成了厚度不稳定部分,但是通过在第一膜层上涂布第二膜层,使得第二膜层覆盖第一膜层,即第二膜层的面积大于第一膜层,可以使该厚度不稳定部分被随后涂布的第二膜层覆盖而实现平坦化,从而仅仅在第二膜层的边缘处形成厚度不稳定部分。这样,增大了工艺使用区域,消除了双层涂布所带来的可用涂布面积小、膜厚不稳定区域大的问题。
优选地,在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层的步骤中,所述第一膜层的边缘与所述第二膜层的边缘之间相距5mm或大于5mm。
优选地,在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层的步骤之前,在所述第一膜层上设置阻隔层,用于阻隔水和/或氧,且在所述玻璃载体上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层的步骤之后,所述第二膜层覆盖所述阻隔层。
在一实施例中,通过夹缝挤出式涂布方式涂布所述第一膜层和所述第二膜层。
在一实施例中,所述至少一对相邻膜层包括一对相邻膜层,并且第一膜层被涂布设置在所述玻璃载体上。
在一实施例中,所述第一膜层和所述第二膜层是聚酰亚胺膜层。
根据本发明的另一方面,提供一种通过上述方法制作的柔性基板。优选地,所述第二膜层的厚度至少大于或等于所述第一膜层的厚度的10%。
根据本发明的还一方面,提供一种包括上述柔性基板的显示装置。
附图说明
通过下面结合附图说明本发明的优选实施例,将使本发明的上述及其它目的、特征和优点更加清楚,其中:
图1示意性地示出涂布膜层时涂膜周围的突起的膜厚不稳定区随着膜厚的增高而变大的原理图;和
图2A-2C示意性地示出根据本发明实施例的用于制作柔性基板的方法的一个示例的各个步骤所对应的结构示意图。
在本发明的所有附图中,相同或相似的结构均以相同或相似的附图标记标识。另外,本发明的附图仅为示意目的,并非按比例绘制。
具体实施方式
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