[发明专利]用于制造柔性基板的方法、柔性基板和显示装置有效
申请号: | 201610038781.2 | 申请日: | 2016-01-20 |
公开(公告)号: | CN105552225B | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 谢明哲;刘陆;谢春燕;王和金;郭远征 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴敬莲 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 柔性 方法 显示装置 | ||
1.一种用于制造柔性基板的方法,包括步骤:
在玻璃载体上涂布多层膜层,其中所述多层膜层中的至少一对相邻膜层中的每一对相邻膜层以如下方式形成:
涂布第一膜层;
在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层,其中所述第二膜层的面积大于所述第一膜层的面积;和
将所形成的多层膜层结构从所述玻璃载体上剥离,形成柔性基板,
其中在第一膜层的涂布中在第一膜层的边缘处形成厚度不稳定部分,并且该厚度不稳定部分被随后涂布的第二膜层覆盖而仅在第二膜层的边缘处形成厚度不稳定部分,
其中通过夹缝挤出式涂布方式涂布所述第一膜层和所述第二膜层,并且
其中第二膜层的平整部分超出第一膜层的边缘。
2.根据权利要求1所述的方法,其中在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层的步骤中,所述第一膜层的边缘与所述第二膜层的边缘之间相距5mm或大于5mm。
3.根据权利要求1或2所述的方法,还包括:在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层的步骤之前,在所述第一膜层上设置阻隔层,用于阻隔水和/或氧,且在所述第一膜层上涂布第二膜层,使所述第二膜层覆盖所述第一膜层的步骤之后,所述第二膜层覆盖所述阻隔层。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述至少一对相邻膜层包括一对相邻膜层,并且第一膜层被涂布设置在玻璃载体上。
5.根据权利要求4所述的方法,还包括步骤:在所述一对相邻膜层之间设置阻隔层,用于阻隔水和/或氧。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述第一膜层和所述第二膜层是聚酰亚胺膜层。
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