[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，执行通过向大气中喷射雾化后的原料溶液来针对衬底成膜的成膜处理，所述成膜装置的特征在于，具备：

载置部，载置所述衬底；

喷雾头部，与载置在所述载置部的所述衬底的上表面对置地设置，在底面具有原料溶液喷出口以及排气口，由所述原料溶液喷出口喷射所述原料溶液，从所述排气口进行排气处理；以及

底板，能够拆除地设置在所述喷雾头部的底面，所述底板以不妨碍执行所述成膜处理的形态安装于所述喷雾头部的底面，

所述喷雾头部具备从所述原料溶液喷出口进行所述原料溶液的喷射的原料溶液喷射用喷嘴部，

所述原料溶液喷射用喷嘴部包括：

第1空洞部；

原料溶液供给部，向所述第1空洞部内供给雾化后的所述原料溶液；

原料溶液排出部，在与所述第1空洞部的底面分离的位置处设置于所述第1空洞部内的侧面，并与所述原料溶液喷出口连接；以及

第1整流部，配设于所述第1空洞部内，规整所述原料溶液的流动。

2.如权利要求1所述的成膜装置，

所述喷雾头部在底面还具有反应材料喷出口以及惰性气体喷出口，由所述反应材料喷出口喷射有助于与所述原料溶液反应的反应材料，由所述惰性气体喷出口喷射惰性气体，

所述底板具有在向所述喷雾头部的底面安装时与所述原料溶液喷出口、所述反应材料喷出口以及所述惰性气体喷出口对应的区域形成的原料溶液用开口部、反应材料用开口部以及惰性气体用开口部。

3.如权利要求2所述的成膜装置，

所述排气口设置在所述喷雾头部的最外侧，

所述底板配置为在向所述喷雾头部的底面安装时不覆盖所述排气口。

4.如权利要求2或3所述的成膜装置，

所述喷雾头部的底面呈以第1以及第2方向规定的矩形状，

所述原料溶液喷出口、所述反应材料喷出口以及所述惰性气体喷出口分别形成为在平面视时以所述第1方向作为长边方向的狭缝状，

所述原料溶液用开口部、所述反应材料用开口部以及所述惰性气体用开口部形成为如下形状：在所述底板向所述喷雾头部的底面安装时，与所述原料溶液喷出口、所述反应材料喷出口以及所述惰性气体喷出口在平面视时为一致的相同形状。

5.如权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，

所述底板由具有耐腐蚀性的材料构成。

6.如权利要求2所述的成膜装置，

所述喷雾头部还具备：

反应材料喷射用喷嘴部，与所述原料溶液喷射用喷嘴部沿着水平方向配设，喷射所述反应材料。

7.如权利要求2所述的成膜装置，

所述惰性气体喷出口包括第1以及第2惰性气体喷出口，

所述反应材料包括第1以及第2反应材料，所述反应材料喷出口包括用于喷出所述第1以及第2反应材料的第1以及第2反应材料喷出口，

所述喷雾头部具备：

第1以及第2反应材料喷射用喷嘴部，夹着所述原料溶液喷射用喷嘴部地配设，并从设置在底面的所述第1以及第2反应材料喷出口喷射所述第1以及第2反应材料；以及

第1以及第2惰性气体喷射部，从设置在底面的所述第1以及第2惰性气体喷出口喷射惰性气体，

所述第1惰性气体喷射部设置在所述原料溶液喷射用喷嘴部与所述第1反应材料喷射用喷嘴部之间，所述第2惰性气体喷射部设置在所述原料溶液喷射用喷嘴部与所述第2反应材料喷射用喷嘴部之间。