[发明专利]太阳能电池及其制造方法在审
申请号: | 201580060359.0 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN107078178A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 大塚宽之;渡部武纪 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | H01L31/068 | 分类号: | H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人: | 李英艳,张永康 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池,其具备P型硅基板,所述P型硅基板以一个主表面为受光面并以另一个主表面为背面,在所述背面上具备电介质膜,并且,所述P型硅基板在所述受光面的至少一部分具有N型导电型层,所述太阳能电池的特征在于,
所述P型硅基板为掺有镓的硅基板,
在所述P型硅基板的所述背面含有扩散的第III族元素。
2.如权利要求1所述的太阳能电池,其中,所述背面中的所述第III族元素的扩散表面浓度为5.0×1017atom/cm3以上且2.0×1019atom/cm3以下。
3.如权利要求1或2所述的太阳能电池,其中,所述第III族元素为硼、镓或者铝。
4.一种太阳能电池制造方法,其制造一种具备P型硅基板的太阳能电池,所述P型硅基板的一个主表面为受光面且另一个主表面为背面,所述方法的特征在于,具有以下步骤:
准备同样掺有镓的硅基板作为所述P型硅基板;
使第III族元素在所述背面扩散;
在所述受光面形成N型导电型层;及,
在所述背面上形成电介质膜。
5.如权利要求4所述的太阳能电池的制造方法,其中,利用一次热处理来进行所述第III族元素的扩散及所述N型导电型层的形成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的