[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂层压体、树脂图案的制造方法、固化膜和显示装置有效
申请号: | 201580049650.8 | 申请日: | 2015-09-24 |
公开(公告)号: | CN107077067B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 吉田真由纪;涩井智史 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/033 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 层压 图案 制造 方法 固化 显示装置 | ||
本发明提供感光性树脂层层压在支承薄膜上而得到的感光性树脂层压体,所述感光性树脂层包含(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂,感光性树脂层压体用于形成导体部的保护膜,感光性树脂层的厚度为20μm以下,且感光性树脂层的固化物满足下述(1)~(3)的条件:(1)交联密度为1,000mol/m3~8,000mol/m3;(2)Tanδ的峰顶值为0.4以上;以及(3)波长532nm下的折射率为1.50~1.60。
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物和感光性树脂层压体、以及使用该感光性树脂层压体制造树脂图案的方法、固化膜和显示装置,更详细而言,涉及对于形成液晶显示装置、有机EL显示装置、触控面板显示装置、集成电路元件、固体拍摄元件、半导体元件等电子部件的平坦化膜、保护膜和层间绝缘膜而言适合的感光性树脂组合物、感光性树脂层压体和使用其制造树脂图案的方法。
背景技术
近年来,随着电子机器的高性能化、多样化和小型轻量化的发展,在液晶等显示元件的整面装配有透明触控面板(触控感应器)的机器逐渐增加。通过透明触控面板来进行显示元件所显示的文字、符号、图案等的目视确认和选择,通过透明触控面板的操作来进行机器的各功能的切换也在增加。触控面板不仅用于个人电脑、电视机等大型电子机器,还用于汽车导航系统、手机、电子词典等小型电子机器、以及OA·FA机器等显示机器,触控面板设置有由透明导电电极材料形成的电极。作为透明导电电极材料,已知有ITO(氧化铟锡,Indium-Tin-Oxide)、氧化铟和氧化锡,这些材料由于具有高的可见光透射率而主要用作液晶显示元件用基板等的电极材料。
作为现有的触控面板的方式,可列举出电阻膜方式、光学方式、压力方式、静电电容方式、电磁感应方式、图像识别方式、振动检测方式、超声波方式等,各种方式均以实用化,但近年来,静电电容方式触控面板的利用得以最大发展。静电电容方式触控面板中,作为导电体的指尖接触触控输入面时,指尖与导电膜之间产生静电电容耦合,形成电容器。因此,静电电容方式触控面板通过捕捉指尖接触位置的电荷变化来检测接触位置的座标。尤其是,投影型静电电容方式的触控面板能够进行指尖的多点检测,因而具备能够进行复杂指示的良好操作性,从而推广作为手机、便携型音乐播放器等具有小型显示装置的机器中的显示面上的输入装置而利用。一般来说,投影型静电电容方式的触控面板中,为了利用X轴和Y轴来表现二维座标,多个X电极和垂直于多个X电极的多个Y电极形成2层结构,并且使用ITO来作为电极材料。
然而,由于触控面板的边缘区域是无法检测触控位置的区域,因此,缩小该边缘区域的面积对于提高制品价值而言是重要的要素。对于边缘区域而言,为了传导触控位置的检测信号而需要金属配线,为了实现边缘面积的狭小化,需要缩小金属配线的宽度。一般来说,金属配线使用铜。
然而,上述那样的触控面板在被指尖接触时,水分、盐分等腐蚀成分有时从感应区域侵入至内部。若腐蚀成分侵入至触控面板的内部,则存在金属配线腐蚀、电极与驱动用电路之间的电阻增加或者断线的担心。
此外,在触控面板的制造工序中,有时对触控面板自身造成负担。尤其是,保护膜设置于柔性显示器基板那样的情况下,随着基板的弯曲,对保护膜造成的负担也变大,容易产生龟裂。
因此,寻求抑制金属配线的腐蚀、与柔性显示器基板之间的密合性高、且具有能够耐受基板弯曲的柔软性的保护膜。
例如,专利文献1、2中提出了这些解决方案。专利文献1中,保护膜用于抑制为了传导触控位置的检测信号而使用的铜配线的腐蚀,但没有记载与耐弯曲性相关的内容。此外,专利文献2中记载了通过组合特定的交联剂而能够对材料赋予韧性,但仅存在弹性模量的记载,没有记载其与耐裂纹性的关系。
作为用于保护柔性显示器基板上设置的配线板表面或图案电路的保护膜,除了使用上述保护膜之外,还可以使用感光性覆盖薄膜、感光性干膜抗蚀剂等与其用途相符的各种薄膜状感光性材料。
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