[发明专利]具有随机电气特性的电气部件

说明书

电气部件形成有具有随机电气特性(例如电阻或电容)的定向自组装部分。可以通过使用具有包括随机诱导特征的引导结构(2)的定向自组装聚合物来产生随机图案。具有随机电气特性的电气部件可以用于依赖于电气特性的随机变化的电路中，例如物理不可克隆函数电路。电气部件可以是电阻器和/或电容器。

技术领域

本公开涉及电气部件领域。更具体地，本公开涉及用于提供随机电气特性的电气部件。

背景技术

在形成集成电路的结构时使用定向自组装(DSA)技术是公知的。这些技术用于形成包括规则排列的平行线的掩膜。

发明内容

本公开的至少一些示例实施例提供了一种电气部件，该电气部件的一部分具有与随机图案相对应的形状，以给予所述电气部件随机的电气特性。

本公开认识到，可以在定向自组装中产生的随机图案实际上可能不造成制造过程的失败，而是适合于生产具有随机电气特性的电气部件。具体地，图案在被形成时从统计上看在实例之间非常可能是独特的。此外，图案本身是可以控制电气特性但在操作期间不会改变的参数。这与电气部件的其它参数形成对比，其中，其他参数可以对电气特性施加一定程度的随机性，但是在操作期间会发生变化，例如诸如载流子移动性之类的参数，载流子移动性可能与温度相关，使得在操作期间电气特性不稳定。本技术能够生产具有随机电气特性并在操作期间维持该随机电气特性的电气部件。

本公开的至少一些另外的示例实施例提供了一种形成具有随机电气特性的电气部件的方法，包括以下步骤：用定向自组装形成电气部件的至少一部分，以具有与随机图案相对应的形状。

本公开的至少一些其它示例性实施例提供了一种电气部件，包括至少一个引导结构；以及具有由至少一个引导结构控制的形状的定向自组装部分，其中，至少一个引导结构具有一个或多个随机诱导特征，一个或多个随机性诱导特征的大小大于引导结构的制造公差的大小。

附图说明

现在将仅通过举例的方式参照附图描述示例性实施例，其中：

图1示意性地示出了使用DSA形成自对准的平行聚合物轨道；

图2示意性地示出了可以由DSA产生的示例随机图案；

图3示意性地示出了具有随机诱导特征的不同形式的引导结构，以诱导在所有方向上具有无序行为的定向自组装部分的形成；

图4示意性地示出了具有随机电阻的电阻器的形成；

图5示意性地示出了随机电容的横截面；

图6示意性地示出了随机电阻的横截面；

图7示意性地示出了具有由随机电阻控制的操作行为的物理不可克隆函数电路；

图8示意性地示出了具有由随机电容控制的振荡频率的N级环形振荡器；

图9示意性地示出了用于产生数字输出的电路，其中数字输出在电路的实例之间随机地为0或1；

图10示意性地示出了由相对电阻值控制的感测放大器；

图11示意性地示出了由相对电容值控制的感测放大器；以及

图12是示意性地示出具有随机电气特性的电气部件的生产的流程图，其中该随机电气特性取决于由定向自组装聚合物产生的随机图案。

具体实施方式

附图的图1示意性地示出了使用DSA在两个引导结构之间形成自对准平行聚合物轨道。期望产生紧密间隔的平行聚合物线的阵列，然后其可以用作图案/掩膜以制造诸如finFET之类的电路。用于形成图案的常见光学技术随着几何形状变小而陷入困境，因此通过使用DSA技术形成这种自对准平行聚合物轨道是有吸引力的选择。