[发明专利]单晶硅提拉用石英玻璃坩埚及其制造方法有效
| 申请号： | 201580041344.X | 申请日： | 2015-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN106574394B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 马场裕二 | 申请（专利权）人： | 信越石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C03C19/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 提拉用 石英玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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