[发明专利]MEMS器件在审
| 申请号： | 201580029298.1 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106458567A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 松冈润弥;辻信昭;植屋夕辉;冈见威;沟田崇 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01C19/5769;G01P15/02;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 万捷 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 器件 | ||
【权利要求书】：
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