[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201521115883.7 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205305108U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王喆;吴安生;王晓霏;袁兆斌 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：
电路板(1)，所述电路板(1)的边缘设置有防潮层(2)；
MEMS芯片(3)和ASIC芯片(4)，所述MEMS芯片(3)和ASIC芯片 (4)设置在所述电路板(1)上；
壳体(5)，所述壳体(5)设置在所述电路板(1)上，所述壳体(5) 与所述电路板(1)形成容纳腔，所述MEMS芯片(3)和ASIC芯片(4)位 于所述容纳腔中。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电路板(1) 上设置有声孔(11)，所述MEMS芯片(3)与所述声孔(11)的位置对应， 所述声孔(11)内壁设置有防潮层(2)。
3.根据权利要求1-2任意之一所述的MEMS麦克风，其特征在于，所 述防潮层(2)的材料为石蜡。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防潮层(2) 的厚度范围为5-10微米。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防潮层(2) 从所述电路板(1)的边缘延伸到所述电路板(1)的上、下表面上。
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