[实用新型]一种基于TiON的压力传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基于TiON的压力传感器。

背景技术

传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到 的信息按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满 足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统 化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存 在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体慢慢变得活 了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元 件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、 色敏元件和味敏元件等十大类。

其中，液体压力传感器内部使用基于硅基MEMS技术加工的压力 传感器芯片，称为MEMS压力传感器芯片。在液体压力传感器中，当 液体压力作用于MEMS压力传感器芯片上时，引起压力敏感膜片发生 形变，压力敏感膜片上的压敏电阻由于压阻效应而产生电阻变化，从 而导致压力感测元件中由压敏电阻组成的惠斯顿电桥产生电信号输 出，实现了压力信号到电信号的转换。

但是，现有的压力传感器，无法完全隔离流体和传感器芯片，如 果被测流体进入传感器芯片内部，则会慢慢腐蚀传感器内部的元件， 造成传感器芯片损坏失效，降低传感器芯片的使用寿命。

因此，提供一种新的压力传感器是本领域技术人员需要解决的课题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种使用简单和传感灵敏 的基于TiON的压力传感器。

为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种基于TiON的压力传感器，包括左固定件、TiON元件和右固 定件，所述左固定件包括固定螺柱和压力腔，所述固定螺柱位于左固 定件的外部，所述压力腔位于左固定件的内部，所述压力腔上设置有 密封膜片和O型圈，所述O型圈与密封膜片相固定。所述TiON元件 位于左固定件和右固定件的中部，所述TiON元件与左固定件和右固 定件相固定，所述TiON元件内部设置有填充腔，所述填充腔内设置 有过载膜片，所述过载膜片上设置有传感器，所述右固定件内设置有 传感块。

作为优选，所述固定螺柱贯穿左固定件、并与TiON元件相固定， 能够将左固定件和TiON元件相固定。

作为优选，所述固定螺柱设置一根以上。

作为优选，所述填充腔内填充有液体，有利于保护传感器的传感。

作为优选，所述传感器为硅压传感器，有利于提高传感器的灵敏 度，使得检测的数值更加精确。

作为优选，所述右固定件与左固定件1结构相同。

作为优选，所述传感块与TiON元件相贴合，能够接收传感器发 出的数据，并继续传送。

作为优选，所述TiON元件的耐温大于260摄氏度，能够在高温 下运行，并有利于延长使用寿命。

本实用新型的有益效果为：由于设置有左固定件和右固定件，能 够固定好TiON元件，由于设置有密封膜片，有利于保护压力腔，由 于设置有O型圈，有利于密封膜片密封固定，由于设置有填充腔，能 够保护传感器，由于设置有传感块，能够件检测的数据传送。

附图说明

图1为本实用新型一种基于TiON的压力传感器的整体结构示意 图。

具体实施方式

如图1所示，一种基于TiON的压力传感器，包括左固定件1、 TiON元件2和右固定件3，所述左固定件1包括固定螺柱4和压力腔 5，所述固定螺柱4位于左固定件1的外部，所述压力腔5位于左固 定件1的内部，所述压力腔5上设置有密封膜片6和O型圈7，所述 O型圈7与密封膜片6相固定。所述TiON元件2位于左固定件1和 右固定件3的中部，所述TiON元件2与左固定件1和右固定件3相 固定，所述TiON元件2内部设置有填充腔8，所述填充腔8内设置 有过载膜片10，所述过载膜片10上设置有传感器11，所述右固定件 3内设置有传感块12。

所述固定螺柱4贯穿左固定件1、并与TiON元件2相固定，能 够将左固定件和TiON元件相固定。

所述固定螺柱4设置一根以上。

所述填充腔8内填充有液体，有利于保护传感器的传感。

所述传感器11为硅压传感器，有利于提高传感器的灵敏度，使 得检测的数值更加精确。