[实用新型]一种基于TiON的压力传感器有效
| 申请号： | 201521085909.8 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN205300833U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 赵勇 | 申请（专利权）人： | 百夫长传感技术(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518114 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 tion 压力传感器 | ||
1.一种基于TiON的压力传感器，其特征在于：包括左固定件、TiON元件和右固定件，所述左固定件包括固定螺柱和压力腔，所述固定螺柱位于左固定件的外部，所述压力腔位于左固定件的内部，所述压力腔上设置有密封膜片和O型圈，所述O型圈与密封膜片相固定，所述TiON元件位于左固定件和右固定件的中部，所述TiON元件与左固定件和右固定件相固定，所述TiON元件内部设置有填充腔，所述填充腔内设置有过载膜片，所述过载膜片上设置有传感器，所述右固定件内设置有传感块。
2.如权利要求1所述的基于TiON的压力传感器，其特征在于：所述固定螺柱贯穿左固定件、并与TiON元件相固定。
3.如权利要求2所述的基于TiON的压力传感器，其特征在于：所述固定螺柱设置一根以上。
4.如权利要求3所述的基于TiON的压力传感器，其特征在于：所述填充腔内填充有液体。
5.如权利要求4所述的基于TiON的压力传感器，其特征在于：所述传感器为硅压传感器。
6.如权利要求5所述的基于TiON的压力传感器，其特征在于：所述右固定件与左固定件结构相同。
7.如权利要求6所述的基于TiON的压力传感器，其特征在于：所述传感块与TiON元件相贴合。
8.如权利要求7所述的基于TiON的压力传感器，其特征在于：所述TiON元件的耐温大于260摄氏度。
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