[实用新型]太阳能硅片扩散用石英舟有效
| 申请号： | 201521039636.3 | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN205303486U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王鸳君;韩伟智;刘春丽;张红伟;胡香玲;郭天华 | 申请（专利权）人： | 杭州力云科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市滨江区江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能 硅片 扩散 石英 | ||
1.一种太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：包括两个支撑板(1)、和固定在两个支撑板(1)之间的多个中空石英管(2)，多个石英管(2)在两个支撑板(1)之间形成容置硅片的支架区(3)，且至少一个支撑板(1)上开有与各个石英管(2)贯通的通孔(6)；石英管(2)上均布开有多个刻槽(4)，硅片放置在石英管(2)同一竖直平面的刻槽(4)中；石英管(2)上，位于相邻刻槽(4)之间或硅片之间开有至少一个散气孔(5)，且散气孔(5)与中空石英管(2)贯通。
2.根据权利要求1所述的太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：中空石英管(2)为四个，且石英舟的前后两个侧面各设置一个，石英舟的底部设置两个。
3.根据权利要求1所述的太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：相邻刻槽(4)之间的散气孔(5)为2-5个，且该2-5个散气孔(5)沿石英管(2)圆周排列。
4.根据权利要求2所述的太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：相邻刻槽之间的散气孔(5)为一组，该组为1-5个散气孔(5)且均设置在同一根石英管(2)上；该组散气孔(5)交替分布在四个石英管(2)上。
5.根据权利要求2所述的太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：相邻刻槽之间的散气孔(5)设于侧面两个石英管(21和22)上，或者底部两个石英管(31和32)上；侧面石英管(21和22)上的散气孔(5)、底部石英管(31和32)上的散气孔(5)沿石英管的纵向呈交替分布。
6.根据权利要求2所述的太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：相邻刻槽之间的散气孔(5)设于侧面其中一个石英管(21或22)和底部其中一个石英管(31或32)上形成一组；相邻的另一组散气孔(5)设于侧面另一个石英管(22或21)和底部另一个石英管(32或31)上形成一组。
7.根据权利要求2所述的太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：相邻刻槽之间的散气孔(5)设于侧面两个石英管(21和22)和底部其中一个石英管(31或32)上形成一组。
8.根据权利要求2所述的太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：相邻刻槽之间的散气孔(5)设于侧面其中一个石英管(21或22)和底部两个石英管(31和32)上形成一组。
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