[实用新型]一种多晶硅片生产车间用上料设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶棒切片辅助设备技术领域，具体讲是一种多晶硅片生产车 间用上料设备。

背景技术

目前，在晶棒制成硅晶片之前需要对晶棒进行预处理，即将切割好的晶棒粘 结在粘棒工装上，然后通过多晶硅片生产车间用上料设备将载有晶棒的粘棒工装 装于切片机的夹头上。在上料时，需要通过多晶硅片生产车间用上料设备两插架 插入粘棒工装上对应的插孔中将晶棒工装高度提升，然后运动至切片机，以使晶 棒工装上的安装孔与切片机上的夹头配合完成上料工序。现有技术中，当多晶硅 片生产车间用上料设备将载有晶棒的粘棒工装运输至切片机安装位置时，需要人 员手动将多晶硅片生产车间用上料设备进行多次位置调整，才能够使晶棒工装上 的安装孔与切片机上的夹头位置配合，导致工作效率较低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种 能够使粘棒工装上的安装孔快速有效的和切片机上的安装夹头形成配合的多晶 硅片生产车间用上料设备。

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种多晶硅片生产车间用上料设备， 包括机架和可上下移动设置在机架上的移动架，所述移动架上设有适于与粘棒工 装上插孔配合的插架，机架下端设有导向装置，所述的导向装置包括左右两边对 称设置的导向轮，两边的导向轮之间形成定位槽。

作为改进，机架背对移动架的一侧设有操作平台，所述机架的底端设有拉绳 位移传感器，所述拉绳位移传感器的拉线头连接移动架，并通过信号线连接操作 平台上的显示屏装置，这样，设备在工作时，拉绳位移传感器通过数据线将移动 架实时高度数据显示于操作平台的显示屏装置上，用户可通过显示屏装置直观查 看准确的高度，在显示高度数值与预设高度数值有偏差时可通过操作平台上的操 纵杆进行调节，利于粘棒工装上安装孔与切片机上夹头快速配合，从而节省在高 度调节上所消耗的时间，有效提高工作效率。

作为改进，插架包括与所述移动架固定连接的固定插架和与所述移动架可移 动连接的活动插架，所述活动插架与固定插架同一高度设置，所述活动插架可移 动的方向为左右方向，这样，在应对粘有晶棒不同孔距的粘棒工装时，可调节两 插架之间间距，调节简单方便，有利于提升工作效率。

作为改进，所述活动插架与所述移动架通过螺栓连接，所述移动架上穿设所 述螺栓的孔为沿左右方向设置的适于所述螺栓移动的条形孔，这样，螺栓可以在 条形孔中左右移动，从而使得活动插架可以左右移动，起到可调节插架之间间距 的作用。

作为改进，条形孔的两端设有长度方向与固定插架设置方向一致的限位凸 条，这样，活动插架移动到位时与限位凸条相抵，以使所述活动插架移动到位时 与所述固定插架保持平行，定位更加准确，提高了工作效率。

采用上述结构后，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、在将粘有晶棒的粘棒工装安装于切片机时，通过导向轮的导向使所述定 位槽与切片机上对应设置的定位件快速定位配合，进而使粘棒工装上的安装孔快 速有效的和切片机上的安装夹头形成配合，便于晶棒的安装，可有效提高工作效 率。

2、通过设置可左右移动的活动插架，在应对粘有晶棒的粘棒工装不同插孔 孔距时，可调节两插架之间的间距，调节简单更加方便，有利于提升工作效率。

3、通过设置与移动架和操作平台上显示屏装置连接的拉绳位移传感器，可 通过显示屏装置直观查看准确的高度位置信息，并且通过操作平台进行微调，这 样，可以在查看控制面板信息后直接将移动架到达需要的指定高度，与切片机上 的安装夹头在同一高度，节省在高度调节上所消耗的时间，提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型一种多晶硅片生产车间用上料设备的结构示意图。

图2为本实用新型一种多晶硅片生产车间用上料设备的左视图。

图中所示，1、机架，2、移动架，3、固定插架，4、活动插架，5、条形孔， 6、螺栓，7、定位槽8、导向轮，9、限位凸条，10、拉绳位移传感器，11、操 作平台，12、显示屏装置，13、信号线。

具体实施方式

下面对本实用新型作进一步详细的说明：